complete bibliography
Post on 27-Dec-2021
18 Views
Preview:
TRANSCRIPT
PHYSIK D Ü N N E R SCHICHTEN Gesamtbibliographie
PHYSICS OF T H I N FILMS Complete Bibliography
PHYSIQUE DES LAMES MINCES
Bibliographie d'Ensemble
T E I L II • PART II • Т О М Е Н
von
H E R B E R T MAYER Professor für Physik
an der Technischen Universität Clausthal
mit gelegentlicher Mitarbeit der Herren
ST. VON AUFSCHNAITER, K. BEHRNDT, H. BÖHME, W. CIRKLER, F rau L. DAHNKE,
W. ELBEL, H. ENGELHARD, D. GERMER, H. GÖHRE, K. GRÜNEWALD, P . HARMS,
K. HARTIG, B. HEIMANN, K. HEINE, B. HIETEL, D. HILLECKE, J. HÖLZL,
K. HOFFMANN, K. JACOBI, F r a u B. JAHN, H. KIRCHHOFF, K. KRONENBERG,
J. LANGEHEINE, S. METHFESSEL, F rau KARIN MÜLLER, R. NIEDERMAYER, R. NOSSEK,
F. J . PIEPENBRING, R. RAHN, H. REICHINGER, P . SCHMIDER, W. SCHROEN,
C. SCHÜLER, K. SPIEGEL, W. P. STEINHAGE, D. STÜNKEL, H. THOMAS, W. WIEGREFE
тосл WISSENSCHAFTLICHE VERLAGSGESELLSCHAFT MBH
STUTTGART 1972
Stichwortverzeichnis zu den Schlüsselzahlen 1-112
Index of classification terms and corresponding code numbers 1 to 112
Index des termes significatifs et des chiffres-code correspondants 1 a 112
Z Zusammenfassende Veröffentlichungen. Review articles. Resumes
T Veröffentlichungen mit rein oder vorwiegend theoretischem Inhal t Theoretical or predominant ly theoretical publications Publications ä predominence theoret iques
Herstellung, Schlüsselzahlen 1-10 Prepara t ion of thin films. Code numbers 1-10 Prepara t ion des couches minces. Chiffres-code 1-10
1 Trägervorbereitung einschl. aller Arten Oberflächenbehandlung Preparation of the support (including all sorts of pretreatment of its surface) Preparation du support
2 Aufdampfen, Sublimation Evaporation, sublimation Evaporation, sublimation
3 Zerstäubung durch Ionenbeschuß, Niederschläge aus kaltem Plasma Sputtering Pulverisation
4 Spreiten Spreading Etalement
5 Adsorption (siehe auch Nr. 26) Adsorption (see also Nr. 26) Adsorption
6 Diffusion Diffusion Diffusion
7 Elektrochemische "Verfahren, bes. Elektrolyse Electrochemical processes, esp. electrolysis Processus electrochimiques, part. electrolyse
8 Chemische Reaktionen (Transportreaktionen, Oberflächenreaktionen, Polymerisation) Chemical reactions (transport-reactions, surface reactions, polymerization) Reactions Chimiques (de Transport, ä la surface du support, polymerisation)
9 Diverse Verfahren (Ätzen, Einbrennen, Ablösen etc.) Miscellaneous techniques (etching, fire-polish, stripping etc.) Processus divers (etching, par chauffage, decollage etc.)
10 Herstellung, Allgemeines Miscellaneous Preparation, generalites
Schichtdickemessung. Schlüsselzahlen 11-19 Determination of film thickness. Code numbers 11-19 Determinat ion de l 'epaisseur des couches minces. Chiffres-code 11-19
11 Allgemeines Miscellaneous Generalites
12 Massendicke (Druckmeßmethode, Elektrolytische -, Ionisations-, Molekularstrahl-, Röntgenfluores-
18 Stichwortverzeichnis - Index
zenz-, Schwingquarz-, Wäge-methode) Mass determination (microbalance techniques, quartz oscillators, electrolytic methods, surface ionisa-tion, molecular beams, X-ray fluorescence, pressure measurements) Epaisseur massique (par pesee, quartz osculant, methodes electro-lytiques, de ionisation, jets atomi-ques, fluorescence des rayons X)
13 Kapazitätsdicke Film thickness by capacity measurement Determination par mesure de ca-pacites
14 Widerstandsdicke Film thickness by resistance measurement Determination par mesure de re-sistences
15 Chemische Methoden Film thickness by chemical me-
20 Gestalt der Oberfläche (Rauhigkeit, wahre Oberfläche) Surface configuration (roughness, true surface area) Configuration de la surface, rugo-site superflcielle, l'aire veritable de la surface
21 Atomanordnung, Atomentfernung (Gefüge, Polier-(Beilby-)Schicht, reine Oberfläche, natürliche Fremdschichten) Atomic (molecular) arrangement, surface structure, contamination layers (Beilby), clean surfaces Arrangement (des atoms, des mo-
24 Energieaustausch (Akkommodation, Akkommodationskoeffl-zient) Energy transfer (accommodation, -coefficient)
thods Determination par des methodes chimiques
16 Kernphysikalische Methoden Film thickness by radiochemical (tracer) methods Determination par des methodes nucleaires
17 Optische Methoden (Intensitäts-, Interferenz-, Phasen-, Polarisationsmethoden, Anlauffarben) Film thickness by optical methods (measurements of intensities, interference phenomena, phase changes, polarisation) Determination par des methodes optiques (mesure d'intensite, d'in-terference, des changements de phase, de polarisation)
18 Sonstige Methoden Miscellaneous methods Autres methodes
19 —
lecules), structur de la surface, couches de polissage (Beilby-couche), surfaces propres, couches contaminantes
22 Grenzflächen-Energien, -Entropien, -Kräfte, -Potentiale, Adhäsion, Haftfestigkeit, Reibung, Viskosität, Kohäsion Surface energy, -entropy, -forces, -potential (adhesion, adherence, friction, viscosity) Energie, -entropie, -forces,-poten-tiel de surface (adhesion, adherence, friction, viscosit.e)
23 —
Echange d'energie (accommodation thermique, -coefficient)
25 Reflexion, Beugung von Atomen, Molekülen etc. Reflection and diffraction of atoms
Oberfläche / Grenzfläche / Grenzschicht. Schlüsselzahlen 20-23 Surface / Interface / Boundary layer. Code numbers 20-23 Surface / Couches limites / Couches de surface. Chiffres-code 20-23
Elementarprozesse an Grenzflächen. Schlüsselzahlen 24-28 Elementary processes on surfaces. Code numbers 24-28 Processus elementaires ä la surface. Chiffres-code 24-28
Stichwortverzeichnis - Index 19
and molecules Reflexion et diffraction des atoms et des molecules
26 Anlagerung von Atomen, Molekülen, Ionen etc.: Kondensation, Adsorption (Einzelprozesse) Capture of atoms, molecules, ions etc. (adsorption, condensation [single particle processes]) Capture des atoms, des molecules, des ions etc. (adsorption, condensation [processus individuels])
27 Verweilzeit, Einschwingvorgänge, Oberflächendiffusion, Haftkoeffi
zient, Verdampfung, Desorption Sticking coefficient, surface diffusion, life time, desorption, evaporation Coefficient d'adherence, diffusion sur la surface, temps d'attarde-ment, desorption, evaporation
28 Chemische und elektrochemische Grenzflächen Vorgänge einschließlich Katalyse und Korrosion Chemical and electrochemical processes (reactions, catalysis, corrosion) Processus chimiques et electro-chimiques (reactions, catalysis, corrosion)
Schichtwachstum - Schichtstruktur. Schlüsselzahlen 29-Film growth and film s t ructure . Code numbers 29-37 Croissance et s t ructure des couches. Chiffres-code 29-37
37
29 Homogene und heterogene Kondensation (Kollektive Prozesse) Condensation (homogeneous and heterogeneous) Condensation (homogene et heterogene)
30 Keimbildung, Bekernung, Wachstumsvorgänge Nucleation, condensation nuclei, crystal growth Formation des germes, influence des noyaux, croissance des cristaux
31 Nahordnung (amorphe Schichten) Short range order (amorphous Alms) Ordre ä rayon reduit (couches amorphes)
32 Fernordnung, einkristalliner Zustand, Epitaxie, Pseudomorphie, Inselschichten, Kristallit- und Korngröße, Gitterkonstante, polykristalliner Zustand, Textur Long range order, single crystal Alms, epitaxy, texture, pseudomorphism, grain dimensions, lattice constants, island-structures, polycrystalline Alms Order ä distance, couches mono-cristallines, epitaxie, texture, pseudomorphisme, couches discontinues, dimensions des grains,
constantes du reseau, couches polycristallines
33 Fehlordnungen . . . [Diffusion, bes. von Fremdatomen, Fehlstellen, auch Stapelfehler, Zwillinge, Füllfaktor bzw. Dichte, Porosität, Versetzungen, Schicht-(Layer-) Strukturen] Structure defects (Stacking faults, twinning, dislocations, porosity, density, foreign atoms and their diffusion) Defauts de structure, defauts d'empilement, mäclage, dislocations, densite, porosite, influence des atoms etrangers et leur diffusion
34 Strukturänderungen (spontane und erzwungene) Structure changes (nonactivated and activated) Changements de structure (spontanes et forces)
35 Änderung des Aggregatzustandes Changes of state Changements d'etat
36 Fremdstoffeinflüsse InAuence of foreign substances on the structure InAuence des impuretes sur la structure
37 —
20 Stichwortverzeichnis - Index
Methoden zur S t ruk turbes t immung. Schlüsselzahlen 38-45 Methods of s t ruc ture determinat ion. Code numbers 38-45 Methodes de determinat ion de la s t ructure . Chiffres-code 38-45
38 Elektronenbeugung - Beugung langsamer Elektronen (LEED) Low-energy-electron diffraction (LEED) Diffraction des electrons lents
39 Elektronenbeugung - Beugung schneller Elektronen High-energy-electron diffraction (HEED and RHEED) Diffraction des electrons ä haute energie
40 Elektronenmikroskopie, Moire-Technik Electron microscopy, Moire-technique Microscopie electronique, technique Moire
41 Röntgenbeugung, -Streuung, -Strahlung
X-Rays, diffraction, scattering Diffraction des rayons X et diffusion
42 Beugung von Korpuskularstrahlen Diffraction of neutrons, atoms, molecules, blocking and channeling Diffraction des rayons corpuscu-lairs, effect de canalisation et d'arret
43 Feldionen-, Feldelekronenmikro-skopie Field-electron-, field-ion-microscopy Microscopie ä emission de champs d'electrons et d'ions
44 Diverse Methoden Miscellaneous methods Autres methodes
45 —
Mechanische Eigenschaften. Schlüsselzahlen 46-49 Mechanical propert ies of films. Code numbers 46-49 Proprietes mechaniques. Chiffres-code 46-49
46 Elastische Eigenschaften Elastic properties Proprietes elastiques
47 Plastische Eigenschaften, Zerreißfestigkeit Plastic properties, tensile strength Proprietes plastiques, resistance ä la traction
48 Spannungen Strains Tensions
49 Härte, auch Haftfestigkeit Hardness Durete
Thermische Eigenschaften. Schlüsselzahl 50 Thermal propert ies . Code numbers 50 Proprie tes thermiques . Chiffres-code 50
50 "Wärmeleitfähigkeit, -Übergang, spezifische Wärme, Ausdehnungskoeffizient, Objekterwärmung, Schmelzpunkt, Oberflächenthermometer, Thermodynamik Heat conductivity, -transfer, specific heat, coefficient of thermal expansion, film heating, fusion
point, surface thermometers, thermodynamics Conductivite et transf ert de la chaleur, chaleur speciflque, coefficient de dilatation, chauffage des couches, point de fusion, thermo-metres de surface, thermodyna-mique
Stichwortverzeichnis - Index 21
Optische Eigenschaften. Schlüsselzahlen 51-Optical propert ies. Code numbers 51-64 Proprietes optiques. Chiffres-code 51-64
64
51 Isotrope Schichten Isotropie films Couches isotropiques
52 Anisotrope Schichten Anisotropie films Couches anisotropiques
53 Inselschichten Island (discontinous) Alms Couches discontinues
54 Absorptionsvermögen Absorption Absorption
55 Durchlässigkeitsvermögen, auch Phasenänderung (Ellipsometrie) Transmissivity Transmission
56 Reflexionsvermögen (einschl. Thermoreflexion, Totalreflexion, Eindringtiefe, Strahlversetzung), Phasenänderung (Ellipsometrie) Reflection (incl. total reflection, penetration depth, thermorefl.ee-tion etc.), phase change (ellipsometrie) Reflexion et changement de phase (incl. thermoreflexion, reflexion totale, profondeur de penetration, ellipsometrie)
57 Streuvermögen, Beugungseffekte Diffusion, diffraction Diffusion, diffraction
58 Erhöhung, Verminderung von Absorption, Reflexion, Interferenz
schichten, Vielfachschichten Increase and decrease of reflection, interference filters, stacked films L'augmentation et l'abaissement du facteur de reflexion, filters in-terf erentiels, couches multiples
59 Optische Konstanten - Methoden Optical constants - methods of determination Constantes optiques - methods de mesure
60 Optische Konstanten - Ergebnisse Optical constants - result s Constantes optiques - resultats
61 Plasmaschwingungen, Übergangsstrahlung, Laserstrahlung Plasmaoscillations, transition radiation, laser-radiation Oscillations de plasma, radiation de transition, radiation-laser
62 Lumineszenz (auch Elektrolumi-neszenz, Lumineszenzdiode, Laserdiode etc.) Luminescence (incl. electroluminescence, diode de luminescence, diode laser)
63 Anwendungen. . . . (Dünnschichtpolarisationsfilter, Interferenzfilter, Dioden-Laser etc.) Applications (interference filters, polarisation filters, etc.) Applications (filtres d'interference, filtres de polarisation, etc.)
64 —
Elektrische Eigenschaften. Schlüsselzahlen 65-81 Electrical propert ies. Code numbers 65-81 Proprietes electriques. Chiffres-code 65-81
65 Elektronenstruktur, elektrische Oberflächenzustände, inneres Potential Electronic structure of the surface, surface states, inner potential Etats electroniques de surface, potentiel intern
66 Längswiderstand, einschl. Cermet-schichten Conductivity in the film plane (incl. «cermet»-films) Conductivite longitudinale (incl. couches «cermet»)
22 Stichwortverzeichnis - Index
67 Querwiderstand (Tunneleffekt, Tunnelemission, Tunnel- bzw. Dünnschichtdioden, MIS-, MOS-, MOM- und ähnliche Strukturen, Transistor, Kontakterscheinungen) Conductivity perpendicular to the film plane (tunneling, tunnelemis-sion, tunneldiodes, MIS, MOS, MOM etc. structures, thin film transistor, contact phenomena) Conductivite transversale effet (tunnel, structures MIS, MOS, MOM etc., phenomenes de contact)
68 Widerstand zusammenhängender Metallschichten Conductivity of continious metal films Conductivity des couches metalli-ques continues
69 Widerstand von Inselschichten Conductivity of island (discon-tinous) films Conductivite des couches metalli-ques discontinues (Granulaires)
70 Widerstand von Labyrinthschichten Conductivity of films with labyrinth-structures Conductivite des couches a structure labyrinthe
71 Halbleiterschichten (Transportvorgänge, Trägerbeweglichkeit, Raumladung, Potentialverlauf, Oberflächenladung, -potential, Feldeffekt, Sperrschichten) Semiconductor films (transport phenomena, carrier mobility, space charge, potential distribution, surface charges, surface potential, field-effect, barrier layers) Couches semiconductrices (phenomenes de transport, mobilite des porteurs, charge d'espace, distribution de potentiel, charges de surface, potentiel de surface, effet de champs, couches d'arret)
72 Struktureinflüsse Structure influences on the conductivity Influences de la structure sur la conductivite
73 Temperaturabhängigkeit, Stromrauschen
Temperature dependence, noise Dependence de la temperature, bruit
74 Weglängeneffekte, Weglängen Size effects, mean free paths of conduction electrons Effets de libre parcours, libre parcours moyen des electrons de conductivite
75 Galvanomagnetische, thermoelek-trische und sonstige Effekte (Halleffekt, magnetische Widerstandsänderung, Widerstandsänderung durch Aufladung, Feldeffekte) Galvanomagnetic, thermoelectric and similar effects (Hall-effect, conductivity changes by magnetic fields, by charging etc.) Effets galvanomagnetiques, ther-moelectriques etc. (effet Hall, changement de la conductivite dans des champs magnetiques, par chargement de la couche etc.)
76 Innerer Photoeffekt, Photoleitung Internal photoelectric effect, photoconductivity Effet photoelectrique intern, effet photovoltaique, photoconductivite
77 SkineffeKt Skin-effect Effet de peau
78 Dielektrische und piezoelektrische Eigenschaften Dielectric and piezoelectric properties Proprietes dielectriques et piezo-electriques
79 Durchschlagsfeldstärke Break down - field strength Potentiel disruptif
80 Ferro- und ferrielektrische Eigenschaften, Elektrostriktion Ferro-ferri-electric properties, electrostriction Proprietes ferro et ferri-elec-triques, electrostriction
81 Anwendungen (Microminiturisie-rung) Applications (microminiaturization) Applications (microminiaturisation)
Stichwortverzeichnis - Index 23
Supralei tung. Schlüsselzahlen 82-89 Superconducting propert ies. Code numbers 82-89 Supraconductivi te . Chiffres-code 82-89
82 Übergangstemperatur, Abhängig-gigkeit von der Schichtbeanspruchung, -dicke, -reinheit, -struktur, -aufladung, Vielfachschichten Transition temperature (dependence on film thickness, -purity, -structure, multilayers films) Temperature de transition (dependence de l'epaisseur de la couche, - de la proprete, - de la structure, couches multiples)
83 Magnetisierung [Eindringtiefe und Abhängigkeiten derselben vom Magnetfeld, Schichtdicke, Schichtreinheit, Temperatur; kritisches Feld, Quanteneffekte, Supraleiter 2. Art (gemischter Zustand), Wirbel, Zwischenzustand, Spinresonanz] Magnetization (penetration depth and its dependence on the magnetic field, film thickness, purity, temperature; critical field strength, quantum effects, type II superconductivity, vortices, spinreso-nance) L'aimantation (profondeur de penetration, dependence du champ magnetique, - de l'epaisseur, - de la proprete, - de la temperature; champ critique, effets quantiques)
84 Kritischer Strom Critical current Intensite critique du courant
85 Tunnelerscheinungen einschl. Energielücke (Berührung normalleitender und supraleitender Schichten, „Proximity-Effekt", schwach supraleitende Kontakte, Tunneln von einzelnen Elektronen, Tunneln von Elektronenpaaren, Josepheon-Effekt)
Tunneling (energy gap, contact with normal conductors, proximity effects, weak superconducting contacts, tunneling of single electrons and electron pairs, Jo-sephson-Tunneling) Phenomenes de tunnel, bände in-terdite, contact avec conducteurs normaux, contacts superconduc-teures faibles, effets de proximite, effets tunnel d'electrons uniques et des pairs, effet tunnel Josephson)
86 Strahlungsabsorption Absorption of radiation in the superconducting state Absorption de rayonnements dans l'etat de supraconductivite
87 Thermische Erscheinungen (Hysterese, thermische und nichtthermische Unterkühlung) Thermal phenomena (hysteresis, supercooling) Proprietes thermiques (hysteresis, thermique et non-thermique re-froidissement au dessous du point critique)
88 Anwendungen . . . . (Cryotrons, Starkfeld-Supraleiter, Teilchenzähler, Übergang n- und p-lei-tender, supraleitender Halbleiter, Wirbelerscheinungen, Diverse) Applications (cryotrons, particle detectors, transition between n-and p-type superconducting semiconductors, vortices etc.) Applications (cryogeniques, detec-teurs de particules, transition entre semiconducteurs supracon-ductrices de type n et p, tour-billons)
89 —
Magnetische Eigenschaften, antif erromagnetische Eigenschaften, Magnetooptik. Schlüsselzahlen 90-101 Magnetic propert ies. Code numbers 90-101 Proprietes magnet iques. Chiffres-code 90-101
90 Spontane Magnetisierung (Curiepunkt, Schichtdickeabhängigkeit, Temperaturabhängigkeit)
Spontaneous magnetization, its dependence on thickness and temperature, Curie point
24 Stichwortverzeichnis - Index
L'aimantation spontanee, dependence de l'epaisseur et de la temperature, point de Curie
91 Ferromagnetische Resonanz, Spinwellen Ferromagnetic resonance, spin waves Resonance ferromagnetique, ondes de spin
92 Anisotropie, Magnetostriktion Anisotropy, magnetistriction Anisotropie, magnetostriction
93 Paramagnetismus, Diamagnetis-mus, Supraparamagnetismus, Antiferromagnetismus Paramagnetic, diamagnetic, superparamagnetic and antiferromag-netic properties Proprietes diamagnetiques, supra-paramagnetiques et antiferromag-netiques
94 Magnetische Wände (Bereichs- und Wandstrukturen, Wandenergie, Wandbewegung, Einfach- und Vielfachschichten) Domain walls (domain and -wall structure, wall energy, wall motion, single and multiple layers) Parois magnetiques (structure, epaisseur, energie, mouvement, couches simples et multiples)
95 Pauschale und Sättigungsmagnetisierung Magnetization and saturation magnetization Aimantation, aimantation de saturation
96 (Um-)Magnetisierungsvorgänge, (statischer und Impulsbetrieb, Drehprozesse, Koerzitivkraft, Remanenz, Hysterese, magnetische Kopplung in Vielfachschichten, Barkhausen-Sprünge) Magnetization reversal, (static and pulsed fields, rotation of the magnetic vector, coercive force, remanence, hysteresis, magnetic coupling in multilayer Alms, Barkhausen pulses) L'inversion de l'aimantation dans des champs statiques et pulsants, rotation, force, coercitive, remanence, hysteresis, couplage magnetique dans des couches multiples
97 Temperaturabhängigkeit der Magnetisierung Temperature dependence of the magnetization Dependence de l'aimantation avec la temperature
98 Faraday-Effekt Faraday-Effect Effet magnetoptique Faraday
99 Kerr-Effekt Kerr-Effect Effet magnetooptique Kerr
100 Anwendungen Applications Applications
101 —
Elektronen- und Ionenemission. Schlüsselzahlen 102-Electron- and ion-emission. Code numbers 102-110 Emission d'electrons et d'ions. Chiffres-code 102-110
110
102 Feldelektronen-, Feldionenemission, Feiddesorption Field-emission, electrons, ions, field-desorption Emission de champ d'electrons et d'ions, desorption de champ
103 Photoeffekt Photoemission Emission photoelectrique
104 Glühelektronenemission Thermoionic emission Emission thermo-ionique
105 Sekundärelektronenemission, einschl. Auger-Elektronen Secondary electron emission, Auger-emission Emission des electrons secondai-res, emission Auger
Stichwortverzeichnis - Index 25
106 Exoelektronenemission Exoelectron emission Emission d'exoelectrons
107 Ionenemission, Oberflächenionisation Emission of ions, surface ionisa-tion Emission des ions, Ionisation ä la surface
108 Austrittsarbeit bzw. Potentialschwelle, Kontaktpotential, Oberflächenpotential, inneres Potential
Work function, potential barrier, contact potential, surface potential, inner potential Travail de sortie, barriere du po-tentiel, potentiel de contact, - de surface, - intern
109 Diverses Miscellaneous Miscellaneous
110 —
Wechselwirkung von Teilchen in dünnen Schichten. Schlüsselzahlen 111-112 Interact ion of part icles wi th th in films. Code numbers 111-112 Interaction ent re part iculs et couches minces. Chiffres-code 111-112
111 Elektronen (Reflexion, unelastische Streuung, Reichweiten, charakteristische Energieverluste, Aufheizung, Temperaturverteilung, Anregung von Plasmaschwingungen, Dissoziation, Desorption, chemische Reaktionen) Electrons (reflexion, elastic and inelastic scattering, path length, characteristic energy losses, heating and temperature distribution, excitation of plasma oscillations, electron bombardment effects, desorption, dissociation, reactions etc.) Electrons (reflexion, elastique et inelastique, parcours, pertes d'energie caracteristiques, exci
tation des oscillations de plasma, effets de bombardement, chauffage des couches et distribution de la temperature, dissociation, reactions chimiques etc.)
112 Ionen, Atome, Neutronen, y-Strah-len, Mösbauereffekt (Eindringtiefe, Kanal- und Sperreffekte, Protonenmikroskopie) Ions, atoms, neutrons, y-rays, Mös-bauer effect (penetration, blocking, channeling, proton-microscopy) Ions, atoms, neutrons, rayons gamma [penetration, eflet de canal, effet d'arret, microscopie ionique (protons)]
top related