![Page 1: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/1.jpg)
Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und
Plasmatechnologie
Komm.: Günter Tovar
Grenzflächen-
Verfahrenstechnik
und Plasma-
technologie
![Page 2: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/2.jpg)
Universität Stuttgart – Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP 2
• 1994 gegründet
• 76 Mitarbeiter
• Jahresbudget 2017 von 2,64 Mio €
• 1456 m2 Labore, Technika, Büroräume, Werkstätten
Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP
![Page 3: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/3.jpg)
© Fraunhofer IGB
Fraunhofer IGB facts and figures
Founded in 1953, since 1962 within the Fraunhofer-Gesellschaft
Located in Stuttgart since 1969, 1976 called Fraunhofer IGB
341 employees
€24.5 million operational budget (2017)
9950 m2 total area
![Page 4: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/4.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
Beispiele für Grenzflächenphänomene im Alltag
![Page 5: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/5.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
Beispiele für Grenzflächenphänomene in der Natur
![Page 6: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/6.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
Beispiele für Grenzflächenphänomene in der Technik
![Page 7: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/7.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
![Page 8: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/8.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
Beispiele für Plasmaphänomene in der Natur
https://www.cardelmar.com/de/blog/reiseziele/nordlichter
![Page 9: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/9.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
![Page 10: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/10.jpg)
Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und
Plasmatechnologie
Das Neue geschiehtan Grenzflächen
![Page 11: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/11.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
Grundlagen der Grenzflächenverfahrenstechnik
WS Fr 09:45-11:15
Günter Tovar, Christian OehrInstitut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie
Universität Stuttgart
![Page 12: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/12.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
Phase 2
Phase 1Phase 1
Phase 2Grenzphase Grenzfläche
Schematische Darstellung der Grenzfläche und Grenzphase
Der Unterschied besteht in der dreidimensionalen Ausdehnung der Grenzphase im Vergleich zur zweidimensionalen Ausdehnung der Grenzfläche.
Grenzfläche
Fläche, die zwei Phasen oder Stoffe voneinander trennt. An der Grenzfläche treten starke Änderungen der physikalisch-chemischen Eigenschaften auf.
![Page 13: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/13.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
Emulsionen
![Page 14: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/14.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
Grenzflächenverfahrenstechnik IChemie und Physik der Grenzflächen
SoSe Fr 14:00 – 15:30
Prof. Dr. Christian Oehr, Prof. Dr. Günter TovarInstitut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie
Universität Stuttgart
![Page 15: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/15.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
Grenzflächenkombinationen
fest-gasförmig (Adsorption)
fest-flüssig (Benetzung)
fest-fest (Reibung)
flüssig-gasförmig(Schäume)
flüssig-flüssig (Emulsionen)
![Page 16: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/16.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
Grenzflächenbestimmte Prozesse
![Page 17: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/17.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
PÜ Grenzflächen-verfahrenstechnik
26.-
27.9.
9:00-
17:00
Versuch GVT-A
28.-
29.9.
9:00-
17:00
Versuch GVT-B
30.9. 8:30-
13:00
Vorbereitung
Präsentation
30.9. 14:00-
15:30
Präsentation und
Diskussion
![Page 18: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/18.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
Versuch Blasendruckmethode zur Messung der Grenzflächenspannung
)(2
0max gzPPrb
![Page 19: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/19.jpg)
Nanotechnologie II // Technische Prozesse und Anwendungen Priv.-Doz. Dr. Günter Tovar // Prof. Dr. Thomas Hirth
PÜ Nanotechnologie
20.9 9:00-9:15 Einführung in den
Ablauf
20.9 9:15-9:45 Laboreinweisung,
alle Labore
20.-
21.9
9:45-17:00 Versuch NANO-A
22.-
23.9
9:00-17:00 Versuch NANO-B
30.9 8:30-13:00 Vorbereitung
Präsentation
30.9 14:00-
15:30
Präsentation und
Diskussion
![Page 20: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/20.jpg)
Nanotechnologie II // Technische Prozesse und Anwendungen Priv.-Doz. Dr. Günter Tovar // Prof. Dr. Thomas Hirth
Versuch Herstellung und Anwendung eines Nanobiochips
![Page 21: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/21.jpg)
Nanotechnologie II // Technische Prozesse und Anwendungen Priv.-Doz. Dr. Günter Tovar // Prof. Dr. Thomas Hirth
Prof. Dr. Günter TovarInstitut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie
Universität Stuttgart
Nanotechnologie IITechnische Prozesse und Anwendungen
WS 11:30 – 13:00
![Page 22: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/22.jpg)
Nanotechnologie II // Technische Prozesse und Anwendungen Priv.-Doz. Dr. Günter Tovar // Prof. Dr. Thomas Hirth
Reaktor:• automatisiert• 1 L / 5 L Rkt-Volumen• inline Prozessanalyse
Prozessanalyse, -optimerung und -integration
Downstream unit:• crossflow-Filtration• integriert• automatisiert
T. Gose, 2010
Nanopartikel-Produktion im Maßstab Miniplant
Dosiereinheit:• automatisiert• gravimetrisch• volumetrisch
Computer-unterstützteProzesssteuerung:• LabVIEW• Data logging• gekoppelt mit Online-Analyse
![Page 23: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/23.jpg)
Nanotechnologie II // Technische Prozesse und Anwendungen Priv.-Doz. Dr. Günter Tovar // Prof. Dr. Thomas Hirth
Sol-Gel-Verfahren
Vom Material zum Produkt
SynthesegrenzflächenaktiverStoffe
FunktionelleMikrostruktur
FunktionelleMembran
Heterophasen-Polymerisation
FunktionelleDispersion
Grenzflächen-bestimmteTechnologien für Darstellung,Processing und Anwendung
R
O
O
S+
SupramolekulareFunktionalisierungan der Grenzfläche
Extraktion
Wässrige Phase
Lipohile Phase
O
O
O
O
OO
O
Ultraschall UV initiierte Polymerisation
Aufreinigung
Molekulare Erkennung Extraktion
Wässrige Phase
Lipohile Phase
O
O
O
O
OO
O
Ultraschall UV initiierte Polymerisation
Aufreinigung
Molekulare Erkennung
Wässrige Phase
Lipohile Phase
O
O
O
O
OO
O
Ultraschall UV initiierte Polymerisation
Aufreinigung
Molekulare Erkennung
![Page 24: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/24.jpg)
Plasmaverfahren für die DünnschichttechnikDr. Christian Oehr
GVT II bzw. Plasmaverfahren für die DünnschichttechnikWS Fr 14:00 – 15:30
Prof. Dr. Christian OehrFraunhofer-Institut für Grenzflächen- und Bioverfahrenstechnik
![Page 25: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/25.jpg)
Plasmaverfahren für die DünnschichttechnikDr. Christian Oehr
Plasmaschichten …
..in Hohlfasern zur Blutreinigung
..in Multilagen für Barrieren
..auf Flachmembranen zur Stofftrennung
![Page 26: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/26.jpg)
Plasmaverfahren für die DünnschichttechnikDr. Christian Oehr
1. Die Gasphase2. Stoßprozesse in der Gasphase3. Grundlagen von Plasmen4. Überblick der historischen Entwicklung der Plasmaforschung5. Gleichspannungsentladungen6. Hochfrequenzentladungen (RF, MW)7. Plasmadiagnostik8. Kathodenzerstäubung, Ätzen9. Typen dünner Schichten10. Analytik dünner Schichten11. Plasmaunterstützte Gasphasenabscheidung (PECVD)12. Plasmapolymerisation13 Skalierungsaspekte14 Strukturierung15 Anwendungsbeispiele16 Ausblick und Trends
GVT II/Plasmaverfahren für die Dünnschicht-Technik (3. Semester, 2 SWS)
![Page 27: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/27.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
![Page 28: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/28.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
![Page 29: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/29.jpg)
Nanotechnologie II // Technische Prozesse und Anwendungen Priv.-Doz. Dr. Günter Tovar // Prof. Dr. Thomas Hirth
![Page 30: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/30.jpg)
Nanotechnologie II // Technische Prozesse und Anwendungen Priv.-Doz. Dr. Günter Tovar // Prof. Dr. Thomas Hirth
![Page 31: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/31.jpg)
Nanotechnologie II // Technische Prozesse und Anwendungen Priv.-Doz. Dr. Günter Tovar // Prof. Dr. Thomas Hirth
![Page 32: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/32.jpg)
Nanotechnologie II // Technische Prozesse und Anwendungen Priv.-Doz. Dr. Günter Tovar // Prof. Dr. Thomas Hirth
![Page 33: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/33.jpg)
Nanotechnologie II // Technische Prozesse und Anwendungen Priv.-Doz. Dr. Günter Tovar // Prof. Dr. Thomas Hirth
![Page 34: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/34.jpg)
Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie Prof. Dr. Günter Tovar
![Page 35: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/35.jpg)
Institute of Interfacial Process Engineering
and Plasma Technology
Alf
Köhn
Fusion Research
• Organization
• 2 SWS + 1 SWS exercise
• 3 LP
• 30 min oral exam
• Learning Objectives
• Understand and explain main
fusion concepts and its pros
and cons
• Prerequisites
• English
• Plasma Physics I
• Contact
• Dr. Alf Köhn
![Page 36: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/36.jpg)
Topics
Fusion Research
• Introduction
• History, confinement concepts
• Fusion reactions, key parameters
• Magnetic field configurations
• General properties
• Configurations for plasma confinement
• Parameter limits for fusion plasmas
• Plasma-ß
• Current & pressure driven instabilities
• Particle trajectories
• Trajectories in tokamak and stellarator fields
• Collisional transport
• Classical transport
• Pfirsch-Schlüter transport
• Neoclassical transport
• Turbulent transport
• Turbulence in fluids
• Turbulent transport in magnetized plasmas
![Page 37: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/37.jpg)
Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik
und Plasmatechnologie
MicrowaveTechnology
![Page 38: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/38.jpg)
- Sources
- Transmission
- Antennas
IGVP
![Page 39: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/39.jpg)
- Optics
- Interaction
with
matter
IGVP
![Page 40: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/40.jpg)
20.01.2016Universität Stuttgart 40
![Page 41: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/41.jpg)
20.01.2016Universität Stuttgart 41
![Page 42: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/42.jpg)
20.01.2016Universität Stuttgart 42
![Page 43: New Grenzflächen- Verfahrenstechnik und Plasma- technologie · 2020. 6. 26. · Universität Stuttgart –Institut für Grenzflächenverfahrenstechnik und Plasmatechnologie IGVP](https://reader034.vdokument.com/reader034/viewer/2022052105/604016990a83376fdd507b8a/html5/thumbnails/43.jpg)
Nehmen Sie gerne bei Fragen Kontakt mit mir auf
Telefon +49-711-970-4109
Fax +49-711-970-4200
Universität Stuttgart
apl. Prof. Dr. Günter Tovar
Kommissarischer Leiter des Institutes für Grenzflächenverfahrenstechnik und
Plasmatechnologie IGVP
Nobelstraße 12
70569 Stuttgart