TruPlasma DCSerie 3000Serie 3000 (G2)
Perfektion im Blick.
Auf dem neuesten Stand der Technik: Lösungen für DC-Sputterprozesse. TruPlasma DC Serie 3000.
Die TruPlasma DC Serie 3000 wurde für eine Vielzahl an Sputter-prozessen entwickelt. Mit einer neuen Generation wassergekühlter Geräte bietet TRUMPF Hüttinger in dieser DC-Produktfamilie nun eine technologisch marktführende Stromversorgung an, die in vielen Sputterapplikationen gepulste DC-Generatoren ersetzen kann. Die Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 sind mit Ausgangs-leistungen von 2 bis 160 Kilowatt (kW) erhältlich. Sie liefern ihre Leistung konstant über einen breiten Lastanpassungsbereich und bewähren sich im rauen, industriellen Betrieb. Daher sind sie ideal für Beschichtungsprozesse geeignet, in denen Zuverlässigkeit und Leistung gefordert werden: die Fertigung von Solarzellen und das Beschichten von Architekturglas. Schlüsselkomponente sind die Ge-neratoren auch bei Hartstoff-, dekorativen und optischen Beschich-tungsprozessen.
TRUMPF Hüttingers fortschrittliches Arc-Management Compensate-Line ist in allen Generatoren der TruPlasma DC Serie 3000 bereits in-tegriert. Es sorgt für eine besondere Reduzierung der Arc-Restenergie und sichert so optimale Ergebnisse im Hinblick auf Schichtqualität und Abscheideraten. Infolgedessen ermöglicht CompensateLine außergewöhnlich hochqualitative und homogene Schichten auch in arc-reichen Prozessen, wie dem TCO-Sputtern.
Die neue, wassergekühlte Generation wurde so entwickelt, dass sie die Arc-Energie zusätzlich deutlich reduziert – in dieser Höhe markt-führend. Mit dem weiten Netzspannungsbereich sowie der hohen Zündspannung entsprechen die Geräte dem neuesten Stand der Technik. Die kompakte Größe sowie die Vielzahl an Schnittstellen unterstützen die Systemintegration.
T R U M P F H ü t t i n g e r – I n n o v a t i o n e n a u f e i n e r h ö h e r e n E b e n e .
Nutzen
Kostengünstige Alternative zu teuren, gepulsten DC-Generatoren Deutlich erhöhter Produktionsertrag Außergewöhnlich homogene Schichten in stabilen Prozessen Einfache Systemintegration, auch bei Ausgangsleistungen von mehr als 40 kW Hohe Systemlaufzeit und reduzierter Wartungsaufwand
Eigenschaften
Optimale Ergebnisse auch in arc-reichen Prozessen Minimale Arc-Restenergie und schnelle Erholzeiten Technologisch führende Lösung für DC-Sputteranwendungen Hohe Leistungsdichte bei sehr kompakter Bauweise
Bewährtes Generatorendesign und vollständige Wasserkühlung
TruPlasma DC Serie 3000 (luftgekühlt) TruPlasma DC Serie 3000 (G2) (wassergekühlt)
a) Anpassbare Zündspannung.
100
0400 1 5001 000
50
100
0 400 1 000 1 500
a) Anpassbare Zündspannung.
800 800
Ausgangsdaten
Ausgangsleistung 2 kW bis 120 kW
Ausgangsspannung 800 V
Ausgangsstrom 5 A bis 300 A
Regelarten Leistung, Spannung, Strom, SimReg
Tastverhältnis 100 %
Regelung bei Netzschwankung ± 10 %, bei Last 10 % – 90 %
Genauigkeit ± 0,5 %
Wiederhol-genauigkeit
± 0,2 %
Zündspannung 1 500 V
Ausgangspolung Negativ, positiv1, fließend1
Lastimpedanz 5,3 Ω – 21,2 Ω (1:4) volle Leistung
Arc-Parameter
Arc-Erkennung < 100 ns
Imax Erkennung Var. lmax Schwelle: 10 % – 130 %
Kreuzerkennung (U x I) Var. Ux Schwelle: 0 V – 600 VVar. lx Schwelle: 10 % – 100 %
Dynamische Spannungsveränderung
Var. dU Schwelle: 0 V – 600 V
CompensateLine Bis zu 8 kARC/s2
Eingangsdaten
Netzspannung 3 x 400 V ± 10 %
Netzfrequenz 50 Hz / 60 Hz ± 5 %
Wirkungsgrad 87 % – 92 %
Leistungsfaktor 0,92 – 0,94
1) Auf Anfrage verfügbar.
2) Auf Anfrage für ausgewählte Modelle verfügbar. Standard: 2 kARC/s
V/P Diagramm V/I Diagramm
Ausgangsdaten
Ausgangsleistung 10 kW bis 300 kW
Ausgangsspannung 1 000 V
Ausgangsstrom 25 A bis 750 A
Regelarten Leistung, Spannung, Strom, SimReg
Tastverhältnis 100 %
Regelung bei Netzschwankung ± 10 %, bei Last 10 % – 90 %
Genauigkeit ± 0,5 %
Wiederhol-genauigkeit
± 0,2 %
Zündspannung 1 500 V / Floating Anode1
Ausgangspolung Fließend
Lastimpedanz 5,3 Ω – 21,2 Ω (1:4) volle Leistung
Arc-Parameter
Arc-Erkennung < 100 ns
Imax Erkennung Var. lmax Schwelle: 10 % – 130 %
Kreuzerkennung (U x I) Var. Ux Schwelle: 0 V – 900 VVar. lx Schwelle: 10 % – 100 %
Dynamische Spannungsveränderung
Var. dU Schwelle: 0 V – 900 V
CompensateLine Bis zu 8 kARC/s3
Eingangsdaten
Netzspannung 3 x 400 V bis 480 V ± 10 %
Netzfrequenz 50 Hz / 60 Hz ± 5 %
Wirkungsgrad 92 %
Leistungsfaktor > 0,96
3) Optional für alle Modelle verfügbar. Standard: 2 kARC/s
DC
-Au
sgan
gsl
eist
un
g in
%
IIDC-Nennausgangs- leistung
IMaximaler DC-Ausgangs-strom III
Maximale DC-Ausgangsspannung
IVZündspannunga
Ausgangsspannung in V
luftgekühlte Variante wassergekühlte Variante luftgekühlte Variante wassergekühlte Variante
DC
-Au
sgan
gsl
eist
un
g in
%
Ausgangsspannung in V
IMaximaler DC-Ausgangs-strom
IVZündspannunga
IIIMaximale DC-Ausgangsspannung
IIDC-Nennausgangs-leistung
TruPlasma DC Serie 3000
Kühldaten
Lufgekühlte Variante
Kühlsystem Umluftkühlung / Lüftersteuerung
Max. Lufteingangstemperatur +35 °C
Wassergekühlte Variante
Max. Eingangsdruck 2 bar bis 7 bar
Min. Differenzdruck 2 bar
Durchflussmenge 4 l/min bis 12 l/min
Max. Kühlwassertemperatur +20 °C bis +35 °C
Temperatur +5 °C bis +45 °C Betrieb
Umgebungsbedingungen
Temperatur -25 °C bis +55 °C Lagerung
Rel. Luftfeuchtigkeit 5 % – 85 % ohne Betauung
Luftdruck4 800 hPa – 1 060 hPa Betrieb
4) Max. 2 000 m über NN. Geräte für höhere Einsatzhöhen auf Anfrage erhältlich.
Schnittstellen
Analog / Digital 25-polig Sub-D (luftgekühlt)15-polig Sub-D (wassergekühlt)
RS 232 / RS 485 9-polig Sub-D
PRofIbUS5 9-polig Sub-D
DeviceNet5 5-polig DeviceNet Anschluss
EtherCAT5 2 x RJ45
Schutzart
Luftgekühlte Variante IP 20
Wassergekühlte Variante IP 40
KennzeichnungKonformitätserklärung auf Anfrage erhältlich
5) Auf Anfrage verfügbar.
TruPlasma DC Serie 3000
Name Ausgangsleistung (kW) Ausgangsstrom (A) Abmessungen (b x H x T, mm) Gewicht (kg)
TruPlasma DC 3002 luftgekühlt 2 5 482 (19”) x 133 (3U) x 465 27
TruPlasma DC 3005 luftgekühlt 5 12,5 482 (19”) x 133 (3U) x 465 27
TruPlasma DC 3010 luftgekühlt 10 25 482 (19”) x 133 (3U) x 677 40
TruPlasma DC 3020 luftgekühlt 20 50 482 (19”) x 275 (6,2 U) x 732 77
TruPlasma DC 3025 luftgekühlt 25 62,5 482 (19”) x 275 (6,2 U) x 732 77
TruPlasma DC 3030 luftgekühlt 30 75 482 (19”) x 275 (6,2 U) x 732 77
TruPlasma DC 3040 luftgekühlt 40 100 482 (19”) x 411 (9U) x 710 120
TruPlasma DC 3050 luftgekühlt 50 125 482 (19”) x 411 (9U) x 710 120
TruPlasma DC 3060 luftgekühlt 60 150 482 (19”) x 411 (9U) x 710 120
TruPlasma DC 3080 luftgekühlt 80 (2 x 40) 200 482 (19”) x 411 (9U) x 7106 2 x 120
TruPlasma DC 3100 luftgekühlt 100 (2 x 50) 250 482 (19”) x 411 (9U) x 7106 2 x 120
TruPlasma DC 3120 luftgekühlt 120 (2 x 60) 300 482 (19”) x 411 (9U) x 7106 2 x 120
TruPlasma DC 3020 (G2) wassergekühlt 20 50 482 (19”) x 133 (3U) x 610 51
TruPlasma DC 3040 (G2) wassergekühlt 40 100 482 (19”) x 178 (4U) x 633 85
TruPlasma DC 3060 (G2) wassergekühlt 60 150 482 (19”) x 265 (6U) x 611 135
TruPlasma DC 3080 (G2) wassergekühlt 80 (2 x 40)6 200 482 (19”) x 178 (4U) x 6107 2 x 85
TruPlasma DC 3120 (G2) wassergekühlt 120 (2 x 60)6 300 482 (19‘‘) x 265 (6U) x 6117 2 x 135
TruPlasma DC 3180 (G2) wassergekühlt 180 (3 x 60)6 450 482 (19‘‘) x 265 (6U) x 6117 3 x 135
TruPlasma DC 3240 (G2) wassergekühlt 240 (4 x 60)6 600 482 (19‘‘) x 265 (6U) x 6117 4 x 135
TruPlasma DC 3300 (G2) wassergekühlt 300 (5 x 60)6 750 482 (19‘‘) x 265 (6U) x 6117 5 x 135
6) Master / Slave Konfiguration.7) Abmessungen für einzelne Einheiten angegeben.
Luftgekühlte Variante
TruPlasma DC 3005
482 mm
133
mm
545 mm
505 mm
465 mm
442 mm
483 mm
704 mm
681 mm
133
mm
610 mm 435 mm
482 mm
178
mm
706 mm
684 mm
633 mm 435 mm
435 mm482 mm
265
mm
672 mm
611 mm
705 mm
728 mm
Wassergekühlte Variante
TruPlasma DC 3020 (G2)
TruPlasma DC 3040 (G2)
TruPlasma DC 3060 (G2)
TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KGBötzinger Straße 80 · 79111 Freiburg · Telefon +49 761 8971-0Fax +49 761 8971-1150 · E-Mail [email protected] www.trumpf-huettinger.com
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