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Mehr Präzision.
Sensoren & ApplikationenHalbleiterindustrie
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Messaufgaben in der Halbleiterindustrie stellen hohe Anforderungen an die einge-setzten Sensoren. Für die Prozessierung von Wafern der Chipindustrie sowie für die Display-Produktion bietet Micro- Epsilon ein breites Portfolio mit hochprä-zisen Wegsensoren, die für verschiedene Messaufgaben eingesetzt werden.
Die Sensoren werden in Umgebungen mit hohen Beschleunigungen, starken Magnetfeldern und sogar im Ultrahoch-vakuum verwendet. Anwendung finden die Sensoren unter anderem bei der Waferherstellung, bei der Metallisierung, in der Lithografie und im Packaging.
confocalDT 2471 HSKonfokal-chromatische Sensoren zur Waferinspektion
Nanometergenaue Abstandsmessung und einseitige Dickenmessung von transparenten Materialien
Passive Sensoren mit Messbereichen bis 30 mm, auch vakuumtaugliche Sensorausführungen möglich
Hohe laterale Auflösung ab 3 µm
Schnellster Controller weltweit zur Überwachung dynamischer Prozesse
optoNCDTKompakter Lasertriangulations-Wegsensor für schnelle und präzise Messungen
Berührungslose Weg- und Abstandsmessung mit Messbereichen von 2 bis 500 mm
Modelle mit rotem Laser oder blauem Laser
Hohe Messrate für dynamische Messungen
Kompakte Bauform mit integriertem Controller
Kleiner Messfleck zur Erfassung kleinster Objekte
capaNCDT 6230Kapazitives Mehrkanal-Messsystem zur Überwachung von Maschinenpositionen
Berührungslose Weg- und Abstandsmessung mit Messbereichen von 0,05 bis 10 mm
Nanometer-Auflösung
Modularer Aufbau für bis zu 4 Kanäle
Sensormodelle und Zubehör für Vakuum / UHV
Ideal für langzeitstabile Messungen
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confocalDT Konfokale Sensoren für Weg- und Dickenmessung Geeignet für alle Oberflächen: matt, spiegelnd und bei schnellen Oberflächenwechseln Hohe Reproduzierbarkeit Schnellster Controller weltweit, ideal für dynamische Messaufgaben
Inline-Qualitätskontrolle
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Messung von transparentenSchichten & KleberaupenKonfokal-chromatische Sensoren werden zur ein-seitigen Dickenmessung von Beschichtungen ein-gesetzt. Dank der Multipeakmessung werden selbst dünnste Schichten zuverlässig erkannt.
Messungen am Wafer mit konfokal-chromatischen Sensoren
Erkennen und Messen von SägeriefenZur automatischen Erkennung und Vermessung von Sägeriefen werden konfokal-chromatische Senso-ren von Micro-Epsilon eingesetzt. Dank der hohen Winkelverkippung und dem kleinen Lichtfleck wer-den Vertiefungen am Wafer sicher erfasst.
Überprüfung auf Risse und AbbrücheKonfokal-chromatische Sensoren von Micro-Epsilon werden eingesetzt, um Risse und andere Fehlstellen auf dem Wafer zu erkennen.
Erkennung und Vermessung von Bumps auf SiliziumwafernDank der hohen Auflösung prüfen konfokal-chro-matische Sensoren von Micro-Epsilon die Dimensi-onen von Bumps.
Durchbiegung von WafernKonfokal-chromatische Sensoren scannen die Oberfläche von Wafern und erfassen so die Durch-biegung und Verzug von Wafern.
Wafer-Dickenmessung / TTVKonfokal-chromatische Sensoren messen von bei-den Seiten die Dickenabweichung bzw. die Wafer-dicke.
Modernstes Sensorportfolio weltweit
Vakuumtaugliche Sensoren Laterale Auflösung ab 3 µm zur Erkennung kleinster Strukturen Kompakte Sensoren, Bauformen mit 90° Strahlengang Hohe Numerische Apertur (NA) für höchste Präzision Geeignet für Abstandsmessung, Dickenmessung und Rauheitsmessung
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capaNCDT Kapazitives Mehrkanal-Messsystem zur Überwachung von Maschinenpositionen Berührungslose Weg- und Abstandsmessung mit Messbereichen von 0,05 bis 10 mm Nanometer-Auflösung Hohe Bandbreite für dynamische Messungen Ideal für langzeitstabile Messungen
eddyNCDT Hochperformantes induktives Wegmesssystem Berührungslose Weg- und Abstandsmessung mit Messbereichen von 0,4 bis 80 mm Nanometer-Auflösung Hohe Grenzfrequenz für dynamische Messaufgaben Kundenspezifische Sonderbauformen
Positionsüberwachung in der Stage
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Positionierung des Linsensystems in LithografiemaschinenHochdynamische induktive Wegsensoren (Wirbelstrom) messen die Position von Linsenelementen, um größtmögliche Abbildungsgenau-igkeit herzustellen.
Sensor: eddyNCDT
Masken-Positionierung in der LithografieIm Lithografieprozess ist eine hochauflösende und langzeit stabile Messung von Maschinenbewegungen erforderlich, um maximale Präzision zu erzielen. Kapazitive Wegsensoren überwachen daher die hochpräzise Maskenausrichtung.
Sensor: capaNCDT
Positionierung der WaferstageBerührungslose Sensoren von Micro-Epsilon werden zur Positionsüberwachung der Wafer-stage eingesetzt. Dort messen sie die hochdynamischen XYZ-Bewegungen. Die kapazitiven und induktiven (Wirbelstrom) Sensoren erreichen eine Auflösung im Nanometerbereich.
Sensor: capaNCDT / eddyNCDT
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MICRO-EPSILON MESSTECHNIK
GmbH & Co. KG
94496 Ortenburg / Germany
Tel. +49 85 42 / 168-0
www.micro-epsilon.de Änder
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Mehr Präzision.Ob zur Qualitätssicherung, für die vorausschauende Instandhaltung, die Prozess- und Maschinenüberwachung, die Automation sowie für Forschung und Entwicklung – Sensoren von Micro-Epsilon tragen einen wesentlichen Teil zur Verbesserung von Produkten und Prozessen bei. Die hochpräzisen Sensoren und Messsysteme lösen Messaufgaben in allen wichtigen Industriebranchen – vom Maschinenbau über automatisierte Fertigungslinien bis zu integrierten OEM-Lösungen.
Sensoren und Systeme von Micro-Epsilon
Sensoren und Systeme für Weg, Abstand und Position
Sensoren und Messgeräte fürberührungslose Temperaturmessung
Mess- und Prüfanlagen für Metallband, Kunststoff und Gummi
Optische Mikrometer, Lichtleiter, Mess- und Prüfverstärker
Sensoren zur Farberkennung, LED Analyser und Inline-Farbspektrometer
3D Messtechnik zur dimensionellen Prüfung und Oberflächeninspektion