V2011
Industrieausstellung & Workshop-WocheVakuumbeschichtung und Plasma¬
oberflächentechnik
17.-20. Oktober 2011
im RAMADA Hotel Dresden
INHALTSVERZEICHNIS
Zeitplan 1
Impressum 4
Inhaltsverzeichnis 5
1. PROGRAMM 19
2. WORKSHOPS 43
2.1 Workshop 1:
Beschichtung für Biotechnologie und Medizintechnik
am 18. Oktober 2011 45
Implantatassoziierte Infektionen am Knochen
Prof. Dr. med. AH. Tiemann -Abt. für Septische und Rekonstruktive Chirurgie Klinik für Unfall-
und Wiederherstellungschirurgie BG-Kliniken Bergmannstrost, Halle 47
Die antimikrobielle Wirkung von Silber am Beispiel von GefäßimplantatenDr. Helmut Goldmann - Aesculap AG, Tuttlingen 48
Neue anti-infektive Beschichtungsstrategien für medizinische ImplantateProf. Dr. KD Kühn- Heraeus Medical GmbH, Wehrheim; Medizinische Universität Graz 49
Silber und Kupfer zur antibakteriellen Ausrüstung
von medizinischen Substraten
BSc GabyGotzmann', Dr. Christiane Wetzel', Lars Achenbach2, Dr. Nurdan Özkucur2,
Prof. Richard Funk2-' Fraunhofer Institut für Elektronenstrahl- undPlasmatechnik, Medizinische
Applikationen, Winterbergstraße 28, 01277Dresden,2 Medizinische Fakultät derTU Dresden,Institut für Anatomie der TU Dresden, Fetscherstraße 74,01307 Dresden 50
Biomimetische Strategien im Einsatz gegen Biofilme
Dr. rer. nat Iris Trick - Fraunhofer-Institut für Grenzflächen- undBioverfahrenstechnik (IGB),
Nobelstraße 12, 70569 Stuttgart 5)
Möglichkeiten der Elektronenstrahltechnik zur Inline-Sterilisation
von medizinischen Instrumenten und Produkten
Dipl.-Phys. Frank-Holm Rögner, Dr. Olaf Röder, Dr. Christiane Wetzet, Gaby Gotzmann -
Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und Plasmatechnik, Winterbergstraße 28,
01277Dresden 52
Abscheidung anti-bakterieller Ti/Cu-Schichten mittels HiPIMS
Prof. Dr. fi. Hippler', Dr. V. Stranak', Dr. Z. Hubkka2, H. Rebl3, C. Zietz \ K. Arndts, Prof. Dr. R. Bader<
Prof. Dr. A, Podbielskis, Prof. Dr. B. Nebe3 -' University of Greifswald, Institute of Physics, Greifswald,2 Academyof Sciences offne Czech Republic, Institute of Physics, Prag,3 UniversityofRostock,Biomedical Res. Center, Dept of Cell Biology, Rostock,4 University of Rostock,Dept. of Orthopaedks,Rostock,5 University of Rostock, Dept. ofMed. Microbiol,, Virology andHygiene, Rostock 53
Biologische Dekontamination von thermolabilen Materialien
mit NiederdruckplasmenDr. Michael Müller, Dr. Anke Burger-Kentischer, Dr. Irls Trick - FraunhoferInstitut
für Grenzflächen und Bioverfahrenstechnik, Stuttgart 54
Normaldruckplasmen zur biologischen Dekontamination
von komplexen MedizinproduktenDr. 1. Ehlbeck, Dr. 1. Winter, Dr. M. Polak, U. Schnabel, Dr. M. Stieber, U. Krohmann,Prof. Dr. K.-D. Weltmann- Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologye.V.,
Felix-Hausdorff-Straße2, 17489 Greifswald 55
Pyrogene Rückstände - Risiko - Nachweismethoden
Dr. Anke Burger-Kentischer-Fraunhofer-Institut für Grenzflächen- und ßioverfahrenstechn/fc JGß....
56
Prüfung von Schichten unter SimulationsbedingungenDr. rer. nat. Uta Kremling, Prof. Dr.-Ing. Rainer Franke - IMA GmbH Dresden 57
2.2 Workshop 2: Beschichtungen für Werkzeuge und Bauteile 59
Integration der Laser-Arc-Technologie für ta-C-Beschichtungenin einer industriellen Hartstoffbeschichtungsanlage DREVA 600
Martin Holzherr', Tobias Schmidt', Michael Falz', Hans-Joachim Scheibe2, Andreas Leson2,
Michael Leonhardt2, Carl-Friedrich Meyer 2-'VTD VAKUUMTECHNIK DRESDEN GmbH,Bismarckstraße 66,01257 Dresden,2Fraunhofer-Institutfür Werkstoff- und Strahltechnik,
Winterbergstraße 28,01277 Dresden 61
Kundenspezifische PVD-AnlagenDipl.-Bw. Anne Lohmann, GPA Gesellschaft für PlasmaApplikation mbH 62
Werkzeugbeschichtung und Komponentenbeschichtungin großen Dimensionen
/ Vetter, G. Erkens, J. Müller, A. Mohnfeld, G. Werding, J. Crummenauer 63
DLC-Schichten mit optimierten Reib- und Verschleißeigenschaftenin verschiedenen Kraftstoffen
Gerryvan der Kolk', A. Hieke', G. Hakansson!, F. Gustavsson3, P. Forsberg3, S. Jacobson3 -
' lonbond Netherlands BV, Venlo, The Netherlands,2 lonbondSweden AB, Linköping, Sweden,3 The Angström Lab, Uppsala University, Sweden 64
Einsatz von DLC-Schichten in der Diesel-HochdruckeinspritzungDr. U, May, A. Blau, Dr. L. Onuseit und Dr. G. Repphun - Robert Bosch GmbH, Diesel Systems,Engineering Technologies Diesel 65
Auswahl und Bewertung von kohlenstoffbasierten Beschichtungenfür automotive KomponentenTheresa Huben ', Dr. Juergen BeckerDr. Hans Karner' -' OC Oerlikon Balzers AG, Balzers,Lichtenstein,2 Oerlikon BalzersCoating Germany GmbH, Bingen 66
Diamantschichten zur Zerspanung von CFRP und CompositesDr.-Ing. Christoph Schiffers, Dr.-Ing. Oliver Lemmer, Dr. rer. nat. Werner Kölker,
Dipl.-Ing. Christian Bareiß-CemeCon AG 67
Neue Entwicklungen bei CVD-Verschleißschutzschichten
Dr. Ingolf Endler, Dr. Mandy Höhn - Fraunhofer-Institut IKTS Dresden, Winterbergstraße 28,01277Dresden 68
Anforderungen und Werkzeuganwendungen im AlDG
Ulrich Hartmann - HONSEL AG i.l 69
Unerreichte Standzeiten bei Präzisionswerkzeugendurch eine neue Generation von PVD-BeschichtungenMichiel Eerden, Sales Manager Europe; Frank Papa, SeniorProcess Manager;Thomas Krug, CEO -Hauzer Techno Coating BV, Venlo, Niederlande 70
Kostensenkung durch innovative WerkzeugeDr.-Ing. Philipp Immich, Matthias Rommel, Uwe Kretzschmann, Jana Siouzou, Uwe Schunk-
LMTFette Werkzeugtechnik GmbH & Co. KG, Schwarzenbek. 71
Entwicklung von PVD-Beschichtungen für Umformwerkzeuge
Dr.-Ing. Arnd Müller- OC Oerlikon Balzers AG 72
Edelmetallschichten für das Präzisionsblankpressen von Glas
Dipl.-Ing. T. Münstermann, Prof. Dr.-Ing. K. Bobzin, Dr.-Ing. N. Bagcivan, Dipl.-Ing. M. Ewering-Institut für Oberflächentechnik der RWTHAachen 73
Beschichtung von kunststoffverarbeitenden WerkzeugenProf. Dr.-Ing. Markus K. Lake -Hochschule Niederrhein, Krefeld 74
Kombinierte ta-C/MoS2-Schichten für vakuumtribologische Komponenten
Dr. V. Weihnacht', A. Brückner', Dr. G. Theiler2, Dr. Th. Gradt1-' Fraunhofer Institut
für Werkstoff- und Strahltechnik (IWS) Dresden,1 Bundesanstalt für Materialforschung und
-prüfung (BAM) Berlin 75
Oberflächencharakterisierung durch Laserakustik, Anwendungen und Trends
Dr. D. Schneider', Dr. L.-M. Berger ', M. Barbosa', Dr. T. Schwarz ', R. Puschmann ',
R. Hofmann', T. Großer1 -' FraunhoferInstitut für WerkstoffundStrahltechnik Dresden,2 ALOtec GmbH Dresden 76
Aluminium-basierte PVD-Schichten für den Korrosionsschutz von SchüttgutDr. Fred Fietzke, Bernd Krätzschmar-Fraunhofer-Institut für Elektronenstrahl- und
Plasmatechnik FEP, 01277 Dresden, Winterbergstraße 28 77
2.3 Workshop 3: Beschichtungen für Solar- und lichttechnische
Anwendungen: Anwendungen in Photovoltaik und Solarthermie 79
DESERTEC: Strom aus der Wüste für eine Klima und Ressourcen
schonende StromversorgungProf. Dr. Dr.-Ing. habil Hans Müller-Steinhagen - Technische Universität Dresden 81
CSP-Technologie auf dem Weg zu höheren Wirkungsgraden -
Hochtemperaturbeschichtungen für Parabolrinnenreceiver
Markus Arntzen - SCHOTT Solar CSP GmbH, Erich Schott Straße 14,95666 Mitterteich 82
Solarspiegel und Solarabsorber aus Aluminium
Dr. Stefan Ziegler, Dr. Harald Küster, Dr. Dimitrios Peros -ALANOD Aluminium-VeredlungGmbH & Co. KG 83
Leistungsfähige Solarspiegel für solarthermische Kraftwerke -
Stand und HerausforderungenDr. Matthias Schiller-FLABEG Holding GmbH 84
Organische Solarzellen-Herausforderungen und EntwicklungsstandS. Schäfer, Dr. R. Kniprath, Dr. W. Volz -Robert Bosch GmbH 85
Stand und Potenziale der Silizium-Dünnschicht-TechnologieDr. Jürgen Hüpkes- Forschungszentrum Jülich GmbH, IEK5-Photovoltaik 86
Entwicklung von Silizium Dünnschichtsolarzellen in KAI PECVD-Reaktoren:
Von der Forschung zur ProduktionsanlageDr. Ulrich Kroll et al. - Oerlikon Solar-Lab SA, Puits-Godet 12a, 2000 Neuchätel, Schweiz 87
Wirkungsgradsteigerung und Kostenfaktoren in der Produktion
von a-Si/uc-Si Solarmodulen
Dr.-/ng. ßrad P. T/nfcham - Gruppenleiter Prozesstechnologie Dünnscnfcht,Inventux Technologies AG 88
Roth & Rau Hetero Junction Technologie - Fortschritte in der Entwicklungund Umsetzung einer neuen Hocheffizienz-Solarzellen-TechnologieArthurBüchel -Roth &Rau Switzerknd AG 89
Neue Produktionsprozessefür polykristalline Silizium-Dünnschichtsolarzellen
Dr. Christiane Becker, Tobias Sontheimer, Prof. Dr. Bernd Rech - Helmholtz-Zentrum Berlinfür Materialien und Energie, Institut Silizium-Photovoltaik, Kekul&traße 5, 12487Berlin 90
CIGS-Produktion bei Solibro: Status und Ausblick
Dr. Dirk Herrmann -Solibro GmbH 97
Aspekte der Rolle-zu-Rolle-Fertigung von flexiblen CIGS
Dünnschichtsolarzellen
Dr. Karsten Otte - Solarion AG, Leipzig 92
AVANCIS: Latest Developmentsin Advanced CIGS Production and Scale-upDr. P. C. Mogemen, I Foltyn, Dr. D. Pender, W. D. Meier, Dr. J. Palm, A. Avellan-Hampe,H. P. Hoheisel, Dr. F. Karg and H. Fischer - AVANCIS GmbH & Co. KG, Solarstraße 3,04860 Torgau 93
From Lab to Fab: Herausforderungen für die Massenfertigungvon CdTe-Dünnschichtsolarmodulen
Dr. M. Grimm - Roth & Rau AG, Hohnstein-Ernstthal 94
Fertigungsprozesse für CdTe Dünnschichtsolarzellen
Dr. Hubert-Joachim Frenck- Ca/yxo GmbH 95
2.4 Workshop 4: Beschichtungen für Solar- und lichttechnische
Anwendungen: Dünnschicht-Technologien und Materialien 97
Dünnschicht-Technologien für Photovoltaik auf großen Flächen
V. Sittinger, W. Diehl, B. Szyszka -Fraunhofer Institut für Schicht- und Oberflächentechnik,
Bienroder Weg 54 f, 38108Braunschweig 99
Multischichten auf c-Si Solarzellen
Dr. P. Wohlfart, Dr. B. Roos, Dr. T. Dippell, Dr. 0. Hohn-SINGULUS TECHNOLOGIES AG 700
In-situ-Regelung von CIGS-Co-Verdampfungsprozessenfür industrielle RZR-Anwendung
S. Kreher, M. Rudin, A, Liebold, M. Gräfe - FHRAnlagenbau GmbH 707
Herausforderungen für die plasmatechnologische Verkapselungvon Dünnschicht-Solarmodulen
Dr.-Ing. Andreas Schulz', Evelyn Häberle', Stefan Merl!', Dr.-Ing. Matthias Walker',
Dr.-Ing. Friedrich Kessler2-' Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart,
Pfaffenwaldring 31, 70569 Stuttgart,2 Zentrum für Sonnenenergie- und Wasserstoff-Forschung(ZSW) Baden-Württemberg, Industriestraße 6, 70565 Stuttgart 102
Inline Antireflex-Beschichtungen auf großflächigen Glassubstraten
und Solarzellen mittels neuester PECVD-TechnologieToniJochum (General Manager)', John Madocks!, Walter Seaman1 -' JUST Vacuum GmbH,2 General Plasma Inc. 103
Dünne Schichten für die Solartechnik
Dr. Johannes Strümpfei, Dr. Martin Dimer, Dr. Jörg Faber- VON ARDENNE
Anlagentechnik GmbH 104
Herausforderungen für die Dünnschicht-Photovoltaikim Wettbewerb
mit waferbasierten TechnologienGötz Fischbeck - BHF-BANK AG, Frankfurtam Main 705
Hochrateabscheidung von transparenten leitfähigen Ti02:Ta- und
Ti02:Nb-Schichten durch reaktives Puls-Magnetron-Co-SputternDipl.-Ing. (FH) Manuela Junghähnel, Dr. rer. nat. Fred Fietzke - Fraunhofer Institut
fürElektronenstrahl- und Plasmatechnik FEP, Winterbergstraße 28, 01277Dresden 706
Verfügbarkeit von Metallrohstoffen für die Dünnschicht-Photovoltaik
Maren Liedtke - Deutsche Rohstoffagenturin derBundesanstalt für Geowissenschaften
und Rohstoffe, Hannover 107
Kostenrelevante Faktoren bei der Fertigung keramischer und
metallischer Targets für TCO-Schichten
Dr.-Ing. Grit Hütt!, GfE Fremat GmbH 108
Targets für CIGS-PV-Anwendungen und Basisdaten zum SputterverhaltenDr. Christoph Simons, Dr. Martin Schlott, AlbertKastner - Heraeus Materials Technology-TMD 709
Pulvermetallurgisch hergestellte Sputtertargetsfür die DünnschichtphotovoltaikDr. ChristophAdelhelm, Christian Linke, Enrico Franzke, Dr. Nikolaus Reinfried,
Dr. HaraldKöstenbauer, Dr. Jörg Winkler-PLANSEESE, Reutte, Österreich 110
Zuverlässigkeit und Langlebigkeit von Solarmodulen -
Anforderungen an die Qualitätssicherung: Zertifizierungsprüfungenvon PV-Modulen, lEC-Testverfahren und neuere EntwicklungenDr. Peter Reinig, B.Sc. Stephanie Weller-SGS GermanyGmbH, Solar Testhouse, Zeisigweg 13,
01737 KurortHartha 111
Neue Prüfverfahren zur Prozess- und Qualitätskontrolleinder Dünnschicht-Photovoltaik
Dr. Henning Heuer', Prof. Dr. EhrenfriedZschech', Dr. Thomas Chudoba1 -
' Fraunhofer IZFP Dresden,2ASMEC GmbH Radeberg 112
Neue Konzepte in der DünnschichtphotovoltaikProf. Dr. Jörg Weber-Institut für Angewandte Physik/Halbleiterphysik,Technische UniVers/tät Dresden 113
2.5 Workshop 5: Beschichtungen mittels Atmosphärendruck-Plasmatechnologien 115
Industrielle Anwendungen von Atmosphärendruck-Plasmenaus Sicht eines AnlagenherstellersDr. Frank Förster - SOFTAL Corona & Plasma GmbH, König-Georg-Stieg 1,2107 Hamburg 117
Neuartige lineare Mikrowellenplasmaquellenfür AthmosphärendruckplasmaprozesseDI J. Roch', Dr. G. Mäder', Prof. S. Kaskel', DI M. ScharmbeckDI K. Schröter2-' Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik IWS, Winterbergstraße 28,01277 Dresden,2 Sitec Chemnitz, Bornaer Straße 192,09114 Chemnitz 118
Großflächige Atmosphärendruck PECVD bei variablem Arbeitsabstand
Dipl.-Ing. Liliana Kotte, Dr. InesDani, Dr. HolgerAlthues, Prof. Dr. Stefan Kaskel-
Fraunhofer-Institut für Werkstoff- undStrahltechnik IWS 119
Atmosphärische Mikrowellenplasmen für die Aktivierung und Reinigungvon Oberflächen
Dr. rer. nat. Martina Leins, Dipl. Phys. Christian Kamm, Dipl. Phys. Joachim Schneider,
Dr.-Ing. Matthias Walker, Dr.-Ing. Andreas Schulz, Prof. Dr. rer. nat habil. UweSchumacher,Prof. Dr. rer. nat. habil. Ulrich Stroth-Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart,
Pfaffenwaldring31, 70569Stuttgart 120
Atmosphärenplasmatechnik zur Oberflächenmodifizierungund Beschichtung von Platten und Rollenware
Dr. Alexander Rau-Ahlbrandt System GmbH, Lauterbach 121
Beschichtung und Funktionalisierung von Oberflächenmittels
DBE für das Direktbonden
Dr.-/ng. M. Eichler, Dr. M. Thomas, Dr. K. Lachmann, Dipl.-Ing. (FH) P. Hennecke, T. Behrendt,Prof. Dr. C.-P. Klages-Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST,
Bienroder Weg 54 E, 38106 Braunschweig 122
Machbar versus sinnvoll - Erfolgreiche Implementierunggroßer industrieller Atmosphärendruckplasma-ProjekteDr. PeterPalm - Plasmawerk Hamburg GmbH 723
AP-CVD-Beschichtungen mit Marker-Funktion
Dr. Kerstin Horn', Dr. Andreas Pfuch', Oliver BeierDr. Jörg Nestler2 -1 INNOVENTe. V.
Technologieentwicklung, Jena;1 Fraunhofer-Einrichtung für Elektronische NanosystemeENAS, Chemnitz 124
Abscheidung von plasmapolymeren Korrosionsschutz- und
Haftvermittlerschichten mit AD-Plasma-Jet-Quellen
J, Ihde, U. Lommatzsch, T. Lukasczyk, C. Regula, /?. Wilken - Fraunhofer-Institut für
Fertigungstechnik und Angewandte Materialforschung, WienerStraße 12,28359 Bremen 725
Abscheidung von plasmapolymeren Korrosionsschutz- und Haftvermittler¬
schichten mit AD-Plasma-Jet-Quellen - Industrielle ÜberführungDr. Alexander Knospe, Dipl.-Ing. Christian Buske - Plasmatreat GmbH, Bisamweg 10,
33803 Steinhagen 126
AD-Plasmapolymerisation mit dem Plasma-BLASTER
zur großflächigen BeschichtungDr. K. Gerstenberg, Dipl. Phys.-Ing. B. Küzün - TIGRES Dr. Gerstenberg GmbH 127
Beschichtung von langen dünnen Rohren und Schläuchen
mit einer koaxialen dielektrisch behinderten Entladung:Plasma- und SchichtcharakterisierungProf. Dr. Peter Awakowicz, Dr. Ramasami Pothiraja, Dr. Nikita Bibinov- Lehrstuhl
für Allgemeine Elektrotechnik und Plasmatechnik, Ruhr-Universität Bochum 128
plasmadust® - ein kostengünstiges und temperaturschonendes Verfahren
zur lösungsmittelfreien Metalisierungder unterschiedlichsten Grundsubstraten
Dr. Ing. E. Theophile 729
Atmosphärendruckplasmen zur Behandlungthermisch sensibler Oberflächen
Dr. S. Reuter, Dr. 1. Winter, K. Fricke, Dr. K. Schröder, Prof. K.-D. Weltmann-ZIK plasmatis;Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e. V.; INP Greifswald 730
Plasmagestützte chemisch selektive Funktionalisierung
von PolymeroberflächenDr. Helga Thomas, Prof. Dr. Martin Möller -DWIander RWTHAachen e. V.,Forckenbeckstraße 50,52074 Aachen 731
2.6 Workshop 6: Beschichtungen für den optischen Gerätebau 133
Anforderungen an moderne Beschichtungen für den optischen Gerätebau
Prof. Dr. Hans K. Pulker- Technologie Dünne Schichten, Institut für lonenphysik u. Angew. Physik,Universität Innsbruck, Technikerstraße 25, 6020 Innsbruck 135
Coating-Designs für die PräzisionsoptikDr. Martin Bischoff, Dr. Tobias Nowitzki, Dr. Oliver Voß, Stefan Mewes-
Qioptiq Photonics GmbH & Co. KG, Coating Center Göttingen, Königsallee 23,37081 Göttingen 136
NIR-Hochleistungslaserbauelemente - TechnologieupdateHelmut Bernitzki, Dr. Sven Laux, Lutz Reichmann, U. Schuhmann, Dr. Peter Triebe! -
JENOPTIK Optica/ Systems GmbH 137
Ion Beam Sputtering (IBS): hochpräzises Beschichtungsverfahrenfür Laseranwendungen mit niedrigsten VerlustenDr. Michael Kennedy (Dipl. Phys.), Tobias GroB (Dipl. Phys.) - Laseroptik GmbH Garbsen 758
Willkommen in der Pikometer-Welt:
Beschichtungen für die EUV-LithografieoptikDr. Christoph Zaczek-CarlZeissSMTGmbH, Rudolf-Eber-Straße 2, 73447'Oberkochen 139
EUV-Kollektorspiegel für HochleistungslaserplasmaquellenMark Schürmann, Marco Perske, Sergiy Yulin, Marcus Trost, Angela Duparre, Torsten Feigl,Norbert Kaiser-Fraunhofer IOF, Jena 740
Spiegel für extrem ultraviolette und RöntgenstrahlungDr. Stefan Braun, Peter Gawlitza, Maik Menzel, Wolfgang Friedrich, Jürgen Schmidt,Dr. Andreas Leson - WS Dresden, Fraunhofer-Institut für Werkstoff- und Strahltechnik 141
Hochstabile Depositionsprozesse zur Herstellung von Beschichtungenmit höchster Qualität und komplexen Designs
Dr. Stefan Günster, Prof. Dr. DetlevRistau - Laser Zentrum Hannovere, V„ Hollerithallee 8,
30419 Hannover 142
Optimierung von Interferenzfiltersystemenfür Anforderungendes optischen Gerätebaus
Dr. Ulf Brauneck', Sebastien Bourqin', Christian Henn2, Dr. Harro Hagedorn3,Dr. Michael Scherer \ Walter Lehnert1-' Schott Suisse S.A.,1 SchottAG,
]LeyboldOpticsGmbH 143
Spektrale Reproduzierbarkeit von Magnetron gesputterten Filtern
in VolumenproduktionDr. OthmarZueger-Optics Balzers AG, Balzers, Liechtenstein 744
Simulation dielektrischer Interferenzschichten auf diffraktiven Gittern
Dr. Winfried Arens, Jürgen Häderle - IMTMasken und Teilungen AG, Greifensee, Schweiz 145
Erweiterte Strategien im optischen BreitbandmonitoringDipl.-Phys. Sebastian Schlichting, Dr. Henrik Ehlers, Dipl.-Phys. Carsten Schmitz,
Prof. Dr. Detlev Ristau -Laser Zentrum Hannover e. V., Hollerithallee 8,30419 Hannover 146
Interferenzfilter für 3D-Brillen
Dr. Silvia Schwyn-Thöny, Evatec Ltd. Schweiz- Evatec Ltd., Lochrietstraße 14,
8890 fiums, Schweiz 747
Bearbeitbare Siliziumschichten zur Herstellungultra-präziser optischer Komponenten
Dr. M. Schürmann, P. J. Jobst, Prof. Dr. N. Kaiser, A. Kolbmüller, S. Müller, A. Gebhardt, Dr. S. Risse,
Dr. R. Eberhardt-Fraunhofer-Institut fürAngewandte Optik und Feinmechanik, Jena 74S
Beschichtungstechnologie und Anwendungen von strukturierbaren
breitbandig reflektionsgemindertem Chrom
Paul Johannes Jobst', Dr. Mark Schürmann', Prof. Dr. Norbert Kaiser', Bernd Beier!,Frank Ulrich Luck \ Michael Thaut1 -' Fraunhofer-Institut fürAngewandte Optik und
Feinmechanik, Albert-Einstein-Straße 7,07745Jena;2 POG Präzisionsoptik Gera GmbH,
Gewerbepark Keplerstraße 35, 07549 Gera 149
Prozesse und Anlagen zur Herstellung streuarmer InterferenzschichtsystemeHarro Hagedorn, Holger Reus- Leybold Optics GmbH, Alzenau 750
Quasigradiente optische Schichten mittels Sputtertechnologie:Design und HerstellungDr. Diana Tonova, Dr. Hans Becker, Dr. Michael Sundermann -Carl Zeiss Jena GmbH 757
Neue Sputterkonzepte für die Herstellung optischer Präzisionsschtchten
Michael Vergöhl, Daniel Rademacher, Benjamin Fritz, Günter Bräuer-Fraunhofer Institut für
Schicht- und Oberflächentechnik (IST), Bienroder Weg 54E, 38108 Braunschweig 752
Gradient- und Vielschichtsysteme hoher Stabilität -
produktiv hergestellt mittels reaktiver SputtertechnologieDr. Peter Frach, Dr. Hagen Bartzsch, Dr. Kerstin Täschner, Dr. Daniel Glöß,
Dipl.-Phys. Christian Gottfried-Fraunhofer-Institut fürElektronenstrahl- und Plasmatechnik (FEP),
Winterbergstraße 28,01277 Dresden 153
Aufgedampfte organische Schichten für optische Anwendungen
Dr. U. Schulz, C. Präfke, Prof. Dr. N, Kaiser-Fraunhofer-Institut fürAngewandte Optikund Feinmechanik, Jena '54
Atomlagenabscheidung für die Beschichtimgnanostrukturierter optischer Elemente
Dr. Adriana Szeghalmi', Haiyue Yang \ Dr. Ernst Bernhard Kley',Prof. Dr. Andreas Tünnermann -1 Institut fürAngewandte Physik, Friedrich Schiller
Universität Jena,2 Fraunhofer Institut fürAngewandte Optik und Feinmechanik IOF, Jena 755
Optische Modellierung der nanostrukturierten Oberfläche von PET
W. Schönberger', Dr. M. Fahland2, Prof. Dr. G. Gerlach', Dr. P. Munzert3, G. Spitzer4-' TUDresden,2 Fraunhofer FEP Dresden,3 Fraunhofer IOF Jena,4 Southwall Europe GmbH 756
Kratzfeste Beschichtung für PC mit hoher UV-BeständigkeitDr. Annegret Matthai', Dr. Ulrike Schulz2, Dr. BerndSzyszka3 -' AUDIAG Ingolstadt,2 IOFJena,3 IST Braunschweig 757
2.7 Workshop 7:19. NDVaK - Beschichtung, Modifizierung und
Charakterisierung von Polymeroberflächen 159
Schaltbare NanopartikelbeschichtungenAnja Rollberg, Prof. Dr. Manfred Stamm, Dr. Petra Uhlmann- Leibniz Institut für
Polymerforschung Dresden e. V., Hohe Straße 6, 01069 Dresden 767
Vergleich funktionaler Plasmapolymerschichtenbei Atmosphärendruck und Niederdruck
Dr. DirkHegemann - Empa, Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology,9014 StGallen, Schweiz 762
Windbw-Film - a flexible add-on to improve solar protection through glazing
Dr. Ronny Kleinhempel', Andre Wahl', Dr. Roland Thielsch ', DavidHoneycutt2, Brija Nand2-' Southwall Europe GmbH, 01900 Großröhrsdorf,2 Southwall Technologies Inc., Palo Alto,
CA 94303, USA 0 163
in-situ ATR-FTIR-spectroscopy:Tool to characterize biorelated
polyelectrolyte complex based coatingsPD Dr. Martin Müller, Bernhard Torger, Bernd Keßler - Leibniz Institute of Polymer Research
Dresden, Departmentof Polyelectrolytes and Dispersions, Hohe Straße 6, 01069 Dresden 764
UV-Schutzschichten durch Nassbeschichtung im R2R-Verfahren
Prof. Dr. Klaus Heinemann, Dipl.-Phys. Karin Schultheis- Thüringisches Institut für Textil- und
Kunststoff-Forschung e.V., Breitscheidstraße 97,07407Rudolstadt 765
Optische und strukturelle Eigenschaftenvon reaktiv gesputterten
ZnxSnyO Schichten auf Kunststoffsubstrat
Dr. Ronny Kleinhempel, Andre Wahl, Dr. Roland Thielsch - Southwall Europe GmbH,
01900 Großröhrsdorf 166
Oberflächenleitfähigkeit für die Pulverbeschichtung von Kunststoffen
L. Bresler', K. Seibt', A. Eichler2,1. Krusche', M. MeurichM. Hohlstein'-' Hochschule
Zittau/Görlitz, (IOT) Friedrich-Schneider-Straße 26, 02763 Zittau,2 Eichler GmbH & Co. KG,
Am Krebsbach 5,02763 Mittelherwigsdorf, OTOberseifersdorf 767
Weiterentwickeltes vollautomatisches MetallisierungssystemMETACIBaE 850.1
Dr. ß. Gebhardt, M. Fa/z, ß. Bücken, G. Buschbeck, K.-D. Steinborn -VTD Vakuumtechnik Dresden
GmbH, Bismarckstraße 66, 01257Dresden 168
Elektrospray-Ionisations-Abscheidung von ultra-dünnen PolymerschichtenJ. Friedrich, K, Altmann, G. Hidde, R.-D. Schulze - BundesanstaltfürMaterialforschungund -prüfung, Berlin 169
Einfluss von Substrat und Ausrüstung auf das Brennverhaltenmetallisierter
textiler Flächen aus thermoplastischen Faserstoffen
Dr.-Ing. Yvette Dietzel- Sächsisches Textilforschungsinstitut e. V. (STFI), 09125 Chemnitz 170
Hydrophobe/Antistatische Grenzflächenmodifikationen
von Kunststoffoberflächen mittels chemischer GasphasenabscheidungR. Chavez, M. Fliedner-COTECGmbh, Frankenstraße 19, 63791 Karlsteina. M 171
Effects of oxygen plasma on cellulose surface
Dr. Alfredo Calvimontes', Peter Mauersberger2, Dr. Mirko Nitschke', Dr.-Ing Victoria Dutschk3,Dr. Frank Simon1 -' Leibniz Institute of Polymer Research Dresden, 01069 Dresden,; UmVers/tyof
Applied Sciences (HTW), 01069, Dresden3 EFSM group, Faculty for Engineering Technology,UniversityofTwente, 7500AE Enschede, The Netherlands 172
Plasmabromierung von graphitischen Materialien
J. Friedrich ', S. Wettmarshausen', G. Hidde', £ Zeynalov1-1 Bundesanstalt für
Materialforschung und -prüfung, Berlin,2 ANAS Baku, Azerbaidshan 173
Anforderungen an Barriereschichten und Charakterisierungstechnikenfür Polymerschichten in OTFT- getriebenen DisplaysJens Dienelt - Plastic Logic GmbH, An der Bartlake 5,01109 Dresden 774
Aspekte der Herstellung und Charakterisierungvon organisch/anorganischen
Schichtsystemen am Beispiel von Barriereverbunden
l. Prager, L Wennrich, W. Knolle, S, Naumov, J. W. Gerlach, A. Prager- Leibniz-Institut für
Oberflächenmodifizierung, Permoserstraße 15, 04318 Leipzig 175
Erzeugung von Barriereschichten auf flexiblen Substraten
mittels R2R-SystemenJens Landrock, Dr. Michael Zeuner, Matthias Nestler, Dr. Dirk Rost-Roth S flau
M/croSystems GmbH, 09337 Hohenstem-Ernstthal 176
Warum können Nanopartikel in kalten Plasmen kristallisieren?
H. Kenten, H. Maurer-Christian-Albrechts-Universität zu Kiel, Institut für ExperimentelleundAngewandte Physik, Leibnizstraße1 7-/9,24098 Kiel 1 77
Eine aktive Thermosonde zur richtungsabhängigen Messungdes Energieeinstromes bei plasmatechnologischen Prozessen
Dr. R. Wiese, Dipl.-phys. G. Wiese, S. Kahler-Leibnitz-Institut für Plasmaforschung und
Technologie e. V, Felix-Hausdorff-Straße 2,17489 Greifswald 178
Untersuchung von reaktiven Magnetron-Sputter-Prozessenmittels nicht-konventioneller Plasmadiagnostik
M. fröhlich, V. Schneider, S. Bornholdt und H. «ersten - Christian-Albrechts-Universität zu Kiel,
Institut für Experimentelle und Angewandte Physik, Leibnizstraße 11-19,24098 Kiel 179
Characterization of Polymer Composites with AnalyticalTransmission Electron MicroscopyPetrFormanek - Leibniz-Institutfür Polymerforschung Dresden e. V.,
Hohe Straße 6,01328 Dresden 180
Freisetzung von Nanopartikeln aus UV-gehärteten Nanokompositen?PeinerMehnert', Enzo Mai', Anette FreyerEvelin Bilz2-' Cetelon NanotechnikGmbH
Eilenburg,2 Leibnizinstitut für Oberflächenmodifizierung e. V. Leipzig 181
Charakterisierung von Plasmapolymerschichten mittels Kratz-,Abrieb- und Härteprüfungen im Nanometerbereich
faßten Doege, Dr. Bernd Neumann, Dr. Ute Holzhausen - Institut für Lacke und Farben e. V.,
Fichtestraße 29,39112 Magdeburg 182
Nanokompositschichten mit photokatalytischen EigenschaftenD. Salz', C. Dä//eV. Danilov2, J. Meichsner2, C. Schmüser', 0. Schorsch', K.-D. Vissing',H.-f. Wagner2, M.Ott'-' Fraunhofer-Institut für Fertigungstechnik undAngewandteMaterialforschung - IFAM, Wiener Straße 12,28359 Bremen,2 Ernst MoritzArndt Universität
Greifswald, Institut für Physik, Felix-Hausdorff-Straße 6,17489 Greifswald 183
Oberflächenbeschichtungen mit stimulierbarer katalytischer Aktivität
M. König, M. Müller, K.-J. Eichhorn, M. Stamm, P. Uhlmann -Leibniz-Institut für PolymerforschungDresden e. V., HoheStraße 6, 01069 Dresden 184
Herstellung und Eigenschaften von Melamin-Nanostrukturen
Tobias Fiedler, Dr. Ulrike Schulz, Prof. Dr. Norbert Kaiser-FraunhoferInstitutAngewandte Optikund Feinmechanik IOF, Albert-Einstein-Straße 7,07745 Jena 185
Stoffschlüssige Metall-Kunststoff-Verbundedurch
grenzflächenreaktives SpritzgießenD. Lehmann, M. Bräuer, M. Edelmann, I. Kuhnert, K. Schneider- Leibniz-Institut für
Polymerforschung Dresden e.V., Hohe Straße 6,01069 Dresden 186
Immobilisierung von Goldnanoteilchen auf Polycarbonatoberflächenbeim SpritzgießenDipl. ehem. (FH) Felix Kroschwald, Dr. rer, nat. Jürgen Nagel, Prof. Dr. rer. nat Gert Heinrich -
Leibniz Institut für Polymerforschung Dresden e.V. 187
Analyse und Simulation der mechanischen Eigenschaftenbeschichteter Polymere unter Berücksichtigung der meist zeitabhängigenMaterialparameterN. Schwarzer -Sächsisches Institut für Oberflächenmechanik SIO, 18569 Ummanz/Rügen 188
FEM-Simulation der stationären und instationären Gaspermeationdurch Barrierefolien
Dipl.-Phys. Oliver Miesbauer M. Sc, - Fraunhofer-Institut für Verfahrenstechnik
und Verpackung IW 189
3. INDUSTRIEAUSSTELLUNG 191
4. TEILNEHMER 243
5. PLAN DER INDUSTRIEAUSSTELLUNG 255
Notizen 261