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Korrelative Mikroskopie: Messbare Effizienzsteigerung in der Materialanalyse
Forum analytica
München, 18.04.012
Johannes KaindlSales Manager Materialmikroskopie
2Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD
Agenda
18.04.2012
1
2 Umsetzung
Technischer Hintergrund
3Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD
Agenda
18.04.2012
1
2 Umsetzung
Technischer Hintergrund
Korrelative MikroskopieHintergrund
Wunsch Stufenloses „Eintauchen“
Wirklichkeit Auflösungsgrenze in der
Lichtmikroskopie Höhere Auflösung:
Rasterelektronenmikroskope Andere Technologie, andere
Gerätetechnik
Folge Systemwechsel nötig
Orientierung auf der Probe geht verloren
Zeitaufwändiges Suchen der interessierenden Bereiche
18.04.2012 4Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD
nm
µm
5Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD
Korrelative MikroskopieHintergrund
Lichtmikroskop Helligkeitskontrast Unterscheidung unterschiedlicher Bereiche
bzw. Objekte nur über Helligkeit und Farbe
Rasterelektronenmikroskop Materialkontrast „Chemie“
Vollständige Informationen nur über Kombination der Verfahren
18.04.2012
Problem: Relokalisierung
Schnelle Lokalisierung unter dem Lichtmikroskop
Direkter Blick auf die Probe Livebild
Schwierig: Wiederfinden einer Stelle im Rasterelektronenmikroskop
Vergleichsweise langsamer Bildaufbau
Höhere Auflösung Kein direkter Blick auf die Probe Unterschiedliche Darstellung
(optischer versuch Materialkontrast)
18.04.2012 6Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD
LM EM(X,Y)1,2…n
7Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD
Agenda
18.04.2012
1
2 Umsetzung
Technischer Hintergrund
8Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD
Die Lösung: Shuttle & Find
18.04.2012
Hardware Spezifischer Probenhalter Markierungen zur Kalibrierung des
Koordinatensystems Adapter für Lichtmikroskop und REM Auch individuelle Adapter möglich
Software Imaging-Software „AxioVision“ Modul „Shuttle & Find“ Speichern und wieder anfahren
beliebig vieler Probenpositionen Gleiche Software für
Lichtmikroskop und REM Überlagern der Einzelbilder
zu einem Gesamtbild Überblendfunktion
Probenhalter
Adapter LiMi Adapter REM
Korrelative MikroskopieNeue Einblicke
Lichtmikroskop Helligkeitskontrast Unterscheidung unterschiedlicher Bereiche bzw. Objekte
nur über Helligkeit und Farbe
18.04.2012 9Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD
Vollständige Informationen nur über Kombination der Verfahren
Rasterelektronenmikroskop Materialkontrast Unterscheidung durch Auswertung unterschiedlicher
Signale bei „Beschuss“ mit Elektronenstrahl
10Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD 15.09.2011