Vakuumpumpen Instrumente Bauteile und Ventile LEYBOLD VAKUUM

TTR 211 S; TTR 211 S2TTR 211 NPTTTR 216 STHERMOVAC-Transmitter

Kat.-Nr.157 30; 164 30157 32;157 31

GA 09.216 / 2.01

Gebrauchsanleitung

LEYBOLD-ServiceFalls Sie ein Gerät an Leybold schicken, geben Sie an, ob das Gerätfrei von gesundheitsgefährdenden Schadstoffen ist oder ob es konta-miniert ist. Wenn es kontaminiert ist, geben Sie bitte die Art der Gefähr-dung an. Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung muß LEYBOLDan den Absender zurückschicken.

Allgemeine HinweiseEine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behaltenwir uns vor.Die Abbildungen sind unverbindlich.

InhalSeite

1 Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.1 Allgemeine Angaben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31.1.1 Verwendungszweck . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41.2 Technische Daten . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41.2.1 Allgemeine Angaben . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 41.2.2 Meßsystem . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.2.3 Signalausgang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.2.4 Schaltpunkt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 51.2.5 Steuereingang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61.2.6 Statusanzeige . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61.2.7 Monitorausgang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 61.2.8 Mechanische Eigenschaften . . . . . . . . . . . . . . 61.2.9 Umgebungsbedingungen . . . . . . . . . . . . . . . . 61.3 Technische Beschreibung . . . . . . . . . . . . . . . . 61.4 Ausstattung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71.4.1 Lieferumfang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 71.4.2 Zubehör . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 7

Seite2 Bedienung und Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . 82.1 Montage des TTR 211 S; TTR 211 S2;

TTR 211 NPT; TTR 216 S . . . . . . . . . . . . . . . . 82.2 Elektrischer Anschluß . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102.2.1 Spannungsversorgung . . . . . . . . . . . . . . . . . 122.2.2 Meßsignalausgang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122.2.3 Schaltpunkt . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122.2.4 Monitorausgang . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142.2.5 Umschaltung Schreiberausgang . . . . . . . . . . 142.2.6 Kodierung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 142.3 Inbetriebnahme . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152.3.1 Betrieb . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 152.3.2 Meßsystem Statuserkennung . . . . . . . . . . . . 152.4 Störungsbeseitigung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 15

3 Wartung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163.1 Service bei LEYBOLD . . . . . . . . . . . . . . . . . 163.2 Die Betriebselektronik . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163.3 Die Meßzelle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 163.3.1 Reinigen der Meßzelle . . . . . . . . . . . . . . . . . 163.3.2 Austausch der Meßzelle . . . . . . . . . . . . . . . . 173.3.3 Abgleich der Meßzelle . . . . . . . . . . . . . . . . . 18

4 Ersatzteilliste . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 18

Anhang 1 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 19Anhang 2 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 21

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1 Beschreibung

1.1 Allgemeine AngabenDer THERMOVAC-Transmitter TTR 211 S, TTR 211 S2,TTR 211 NPT und TTR 216 S wird betriebsbereit ausge-liefert. Trotzdem empfehlen wir Ihnen, diese Gebrauchs-anleitung sorgfältig zu lesen, um Ihnen so von Anfang anein optimales Arbeiten zu gewährleisten.

Diese Gebrauchsanleitung enthält wichtige Informatio-nen zum Verständnis, zur Aufstellung, Inbetriebnahme,Betrieb und zur Fehlersuche des THERMOVAC-Trans-mitters TTR 211 S, TTR 211 S2, TTR 211 NPT undTTR 216 S.

Wichtige Anweisungen, die die technische Sicherheitund den Betriebsschutz betreffen, sind durch Kennzeich-nungen hervorgehoben.

Vorsicht Steht bei Arbeits- und Betriebsverfah-ren, die genau einzuhalten sind, um eineGefährdung von Personen auszuschlie-ßen

Achtung Bezieht sich auf Arbeits- und Betriebs-verfahren, die genau einzuhalten sind,um Beschädigungen oder Zerstörungendes TTR 211 S, TTR 211 S2, TTR 211NPT und TTR 216 S zu vermeiden.

HinweisGilt für technische Erfordernisse, die der Benutzer be-sonders beachten muß.

Abbildungshinweise z.B. (4/1) geben mit der ersten Zifferdie Abbildungsnummer an und mit der zweiten Ziffer diePosition in dieser Abbildung.

Den TTR 211 S, TTR 211 S2, TTR 211 NPT und TTR216 S unmittelbar nach Empfang auspacken, auch wenndie Inbetriebnahme erst zu einem späteren Zeitpunkterfolgt.

Transportverpackung auf äußere Schäden untersuchen.Verpackungsmaterial vollständig entfernen.

HinweisFür eventuelle Schadensersatzforderungen ist der Trans-portbehälter und das Verpackungsmaterial gut aufzube-wahren.

TTR 211 S, TTR 211 S2, TTR 211 NPT und TTR 216 Sauf Vollständigkeit prüfen (siehe Abschnitt 1.4).

TTR 211 S, TTR 211 S2, TTR 211 NPT und TTR 216 Seiner sorgfältigen Sichtprüfung unterziehen.

Werden Beschädigungen festgestellt, ist umgehend eineSchadensmeldung an den Spediteur und den Versiche-

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3GA 09.216/2.01 - 02/96

rer zu leiten. Falls es notwendig ist, das beschädigte Teilzu ersetzen, bitte mit der Auftragsabteilung in Verbin-dung setzen.

1.1.1 Verwendungszweck

Die THERMOVAC-Transmitter TTR 211 S, TTR 211 S2,TTR 211 NPT und TTR 216 S sind aktive kompakteDruckmeßumformer, in denen ein Pirani-Meßsystem so-wie die dazugehörige Betriebselektronik untergebrachtist.

Sie eignen sich besonders zur Integration in Anlagenund bieten einen Meßbereich von 5·10-4 bis 1000 mbar.

Der Anschluß an die Anlage erfolgt direkt über den Meß-flansch DN 16 KF bzw. 1/8“ NPT.

Der elektrische Anschluß erfolgt über eine abgeschirm-te 8polige FCC 68 Steckverbindung.

Im Weiteren sind die Technischen Daten im Abschnitt1.2 zu beachten.

1.2 Technische Daten

1.2.1 Allgemeine DatenMeßbereich 5·10-4 bis 1·103 mbar

MeßunsicherheitKennlinienabweichung

± 20 % im Bereich 1·10-3 bis 1·10-2 mbar± 15 % im Bereich 1·10-2 bis 30 mbar± 50 % im Bereich 30 bis 1000 mbar

mittlerer Temperaturkoeffizient der Ausgangsspanne < 1 % / K vom angezeigten WertWiederholbarkeit < 5 % vom angezeigten Wert

Meßprinzip Wärmeleitung nach Pirani

Versorgungsspannung 14,5 bis 36 V DC; typ. 24 V DCBrummspannung ≤ 2 Vss

im Bereich von 17 bis 32 V

Leistungsaufnahme < 2 W

Schutzart IP 40

Elektrischer Anschluß FCC 68 Buchse 8polig mitAbschirmung

Leitungslänge max. 100 m (∅ 0,14 mm2)

Entflammbarkeit gemäß UL 94 - V 2

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CE- Elektrische Sicherheit DIN EN 61 010,Teil1,

entspricht VDE 0411 Teil 1, bzw. IEC 1010-1- Störaussendung EN 50081, Teil 1, Grenzwert B- Störfestigkeit EN 50082, Teil2, Level III

1.2.2 Meßsystem

Meßsystem austauschbar

Meßfaden Wolfram (TTR 211 S, TTR 211 S2,TTR 211 NPT)

bzw. Platin (TTR 216 S)

Flanschanschluß DN 16 KF bzw. 1/8“ NPT

Ausheiztemperatur max. 80 °C am Flansch

Totvolumen ca. 11 cm3

Medienberührende WerkstoffeTTR 211 S / 211 S2 Aluminium, Stahl vernickelt,

VACON, Wolfram, CrNi 8020;Glas, Epoxyd-Harzkleber

TTR 211 NPT Edelstahl, Wolfram, Glas,VACON, CrNi 8020, Epoxyd-Harzkleber

TTR 216 S Edelstahl, CrNi, Al2O3 - KeramikNiFe, Mo, Ni, Platin

ÜberdruckfestigkeitTTR 211 S / 211 S2; TTR 211 NPT 3 bar abs.TTR 216 S 10 bar abs.

1.2.3 Signalausgang

Signalausgang 0 bis 10,6 V

Zulässiger Lastwiderstand Ra ≥ 10 kΩ

Meßsignal 1,9 V bis 10,0 V;entspricht 5·10-4 bis 1·103 mbar

logarithmische Teilung 1,286 V / Dekade

Statussignal Fadenbruch 10,5 V

1.2.4 SchaltpunktSchaltpunkt 1 Relaiskontakt als Schließer

Schaltpunkt 2 (TTR 211 S2)Relaiskontakt als Wechsler

Einstellbereich ca. 1·10-3 bis 500 mbar

Hysterese ca. + 30 % vom eingestellten Druckwert

Belastbarkeit Kontakt 1 60 V; 0,5 A DC

Belastbarkeit Kontakt 2 60 V; 0,5 A DC250 V; 3 A AC

Fehlerstatus Kontakt offen bzw. Ruhelage bei Fadenbruch bzw. bei Versorgung aus

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1.2.5 SteuereingangEingangswiderstand RE ≈ 100 kΩ

(siehe Abb. 3 und Abschnitt 2.2.5)

Umschaltung SchreiberausgangMeßsignal-Ausgabe UE ≈ 11 bis 12 V

bzw. Eingang offenSchaltpunkteinstellung UE ≈ 0 bis 1 V

1.2.6 Statusanzeige

Betriebsanzeige (Power)Schaltpunkt (nicht aktiviert) Zweifarbige LED

leuchtet orange

Schaltpunkt (aktiviert) Zweifarbige LEDleuchtet grün

1.2.7 Monitorausgang

Klinkenbuchse (3,5 mm) zum Auslesen von Meßsignalund Schaltpunkteinstellung (siehe Abschnitt 2.2.4).

1.2.8 Mechanische Eigenschaften

Abmessungen (B x H x T) in mmfür TTR 211 S / 211 S2 ; TTR 216 S 73 x 106 x 56

für TTR 211 NPT 73 x 121 x 56Gewicht ca. 200 g

1.2.9 Umgebungsbedingungen

Lagertemperatur - 20 °C bis + 70 °C

Klimaklasse KWF nach DIN 40040

Betriebstemperatur 10 °C bis 50 °C

max. rel. Luftfeuchte an 30 Tagen pro Jahr, nicht kondensierend 95 %

1.3 Technische BeschreibungDas Thermovac nutzt die Wärmeleitfähigkeit von Gasenzur Vakuummessung (Pirani-Prinzip). Die Temperaturdes verwendeten Meßfadens wird durch eine elektroni-sche Regelung konstant gehalten. Dadurch wird einschnelles Ansprechen auf Druckänderungen erreicht.Die speziell ausgelegte Temperaturkompensation er-möglicht eine verbesserte Temperaturstabilität derDruckwerte im nutzbaren Meßbereich von 5·10-4 mbarbis Atmosphärendruck. Eine interne Spannungsstabili-sierungsschaltung ermöglicht den Betrieb in einem wei-ten Versorgungsspannungsbereich mit geringen Anfor-derungen (Ripple 2 Vss).

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6 GA 09.216/2.01 - 02/96

Der eingebaute Schaltpunkt ist leicht im Bereich von1·10-3 bis 500 mbar einstellbar. Die Schaltfunktion stehtals Relais-Kontakt zur Verfügung. Die Funktion desSchaltpunkts ist über eine LED erkennbar.

Der TTR 211 S2 ist mit einem zusätzlichen Schaltpunktausgestattet. Die Schaltfunktion steht hier über hochbe-lastbare Relaiskontakte zur Verfügung.

Der TTR 211 S, TTR 211 S2, TTR 211 NPT und TTR 216S liefert ein logarithmisches Abbild des Vakuumdrucksals Spannungssignal von 1,9 bis 10 V, das sich einfachweiterverarbeiten läßt. Der Signalausgang läßt sich zumAuslesen der aktuellen Schaltpunkteinstellung über einSteuersignal umschalten.

Die Schaltpunkteinstellung kann auch über einen zu-sätzlichen Monitoranschluß, beispielsweise mit einemVoltmeter, überprüft werden. Das Meßsignal steht fürPrüfzwecke ebenfalls an diesem Anschluß ständig zurVerfügung.

Der niederohmige Ausgangsverstärker erlaubt die Sig-nalübertragung über größere Kabellängen.

Störungen am Meßsystem, z.B. Fadenbruch, sind amSignalausgang als Statusmeldung erkennbar. Bei Stö-rungen wird das Schaltpunktrelais in Ruhelage geschal-tet.

1.4 Ausstattung

1.4.1 LieferumfangKat.-Nr.

THERMOVAC-Transmitter TTR 211 S 157 30THERMOVAC-Transmitter TTR 211 S2 164 30THERMOVAC-Transmitter TTR 211 NPT 157 32THERMOVAC-Transmitter TTR 216 S 157 31Gebrauchsanleitung GA 09.216Klinkenstecker (3,5 mm)

1.4.2 ZubehörKat.-Nr.

Ersatzmeßzelle zu TTR 211 S / TTR 211 S2 157 75Ersatzmeßzelle zu TTR 211 NPT 896 34Ersatzmeßzelle zu TTR 216 S 157 77

Anschlußleitung 10 m mit 2 FCC 68-Steckern, abgeschirmt 157 33

Übergabepunkt FCC 68-Stecker auf Schraubklemmen, montiert auf Hutschiene bei Schaltschrankinstallation in Vorbereitung

Spannring DN 10 / 16 KF 183 41Zentrierring DN 16 KF (Al) 183 26

Für Überdruck und Ausheizbetrieb (nur TTR 216 S):Ultradichtscheibe (3 St.) 883 75Spann-Ring 882 75

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2 Bedienung und BetriebPrüfen Sie an Hand der technischen Daten, ob derTransmitter für Ihre Applikation geeignet ist.

2.1 Montage des TTR 211 S;TTR 211 S2; TTR 211 NPT;TTR 216 S

Der THERMOVAC-Transmitter TTR 211 S, TTR 211 S2,TTR 211 NPT und TTR 216 S sollte vorzugsweise mitdem Flansch nach unten montiert werden. Eine geneig-te Montage, maximal horizontal, ist möglich.

Nicht gestattet ist eine hängende Montage, da sich dannKondensate im TTR 211 S, TTR 211 S2, TTR 211 NPTund TTR 216 S sammeln können. Dadurch wird die Mes-sung beeinflußt und eventuell der Transmitter beschä-digt.

Der THERMOVAC-Transmitter besitzt einen Anschluß-flansch DN 16 KF bzw. 1/8“ NPT und wird mittels Zen-trierring und Spannring an den Anschlußflansch der Ap-paratur angeschlossen.

Maßzeichnung siehe Abbildung 1.

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73

121

16

13

1/8" NPT

92

106

7

56

DN 16 KF

Trigger0

Abb. 1 Maßzeichnung TTR 211 S bzw. TTR 211 NPT

2.2 Elektrischer AnschlußDer elektrische Anschluß des THERMOVAC-Transmit-ters erfolgt über eine 8polige FCC 68-Steckverbindungzum entsprechendem Betriebsgerät.

Die Pin-Belegung ist in Abbildung 2 angegeben.

Pin Belegung Bezeichnung auf der Geräterückseite

Pin 1 Versorgung 14,5 V bis 36 V DC + 24 V DC

Pin 2 Versorgung 0 V; für Ver-sorgungs- und Steuersignal-masse verwenden. COMMON

Pin 3 Druckabhängiger, loga-rithmischer Signalausgang SIGN 0 - 10 V

Pin 4 Kodierung „TM-Transmitter“ (27 kΩ) IDENT

Pin 5 Signalmasse (nur für Druckmeßsignal verwenden) SIGN COM

Pin 6 Schaltpunktkontakt 1 TRGPin 7 Umschaltung Schreiberaus-

gang (Steuereingang) SIGN CTRLPin 8 Schaltpunktkontakt 2 TRG

HinweisDie Signalmasse Pin 5 und die Versorgungsmasse Pin 2sind intern über einen Wiederstand von 10 Ω verbunden.Siehe hierzu auch das Funktionsschema in Abbildung 3.

Zwei Anschlußbeispiele für den TTR 211 S, TTR 211 S2,TTR 211 NPT und TTR 216 S sind im Anhang 2 darge-stellt.

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Pin 1

Abb. 2 Anschlußbuchse

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LED „POWER“

LEDTrigger

Trigger

+ 10,5 V

Kennlinienformer

Sensor

Abb. 3 Funktionsschema

Fadenbruch

Steuereingang

Signalausgang

Signalmasse

Kodierung

27 kΩ10 Ω

4

5

3

Schaltpunkt

Versorgung1

6

7

2

8Schaltpunkt

Versorgungsmasse

2.2.1 Spannungsversorgung

Vorsicht Der THERMOVAC-Transmitter TTR 211 S, TTR 211 S2, TTR 211 NPTund TTR 216 S darf nur an Speise- oderMeßgeräte angeschlossen werden, diedie Anforderungen einer Funktions-kleinspannung mit sicherer Trennung(PELV) und VDE 0100 erfüllen.

Der THERMOVAC-Transmitter TTR 211 S, TTR 211 S2,TTR 211 NPT und TTR 216 S arbeitet in einem weitenVersorgungsspannungsbereich von 14,5 V bis 36 V (sta-bilisiert) bzw. von 17 bis 32 V bei einer Brummspannung≤ 2 Vss. Empfohlen wird eine Versorgungsspannung von24 V DC.

Die Spannungsversorgung ist an Pin 1 (+) und an Pin 2(Versorgungsmasse) anzuschließen.

2.2.2 MeßsignalausgangDer TTR 211 S, TTR 211 S2, TTR 211 NPT und TTR 216 S liefert ein definiertes Meßsignal von 1,9 V bis10 V, welches an Pin 3 bezogen auf Signalmasse Pin 5anliegt. Bei Fadenbruch hat das Signal einen Wert vonca. 10,5 V. Über den Meßsignalausgang kann auch direktdie Hochspannung des PENNING-Transmitters PTR 225/ PTR 237 bei einem Druck von ca. 5·10-3 mbar automa-

tisch ein- bzw. ausgeschaltet werden. Siehe hierzu auchTabelle 1 im Anhang.

Die Tabelle 1 verdeutlicht den Zusammenhang zwischenSpannung am Meßsignalausgang und dem Druck.

HinweisDas Meßsignal des THERMOVAC-Transmitters ist gas-artabhängig. Die in Tabelle 1 genannten Werte gelten fürStickstoff und Luft. Für andere Gasarten sind entspre-chende Korrekturfaktoren notwendig und auf Anfrageerhältlich.

2.2.3 SchaltpunktDer eingebaute Schaltpunkt läßt sich mit dem Potentio-meter (4/5) bzw. (5/2) im Bereich von 1·10-3 bis 500 mbareinstellen.

Zur Schaltpunkteinstellung den Blindstopfen entfernenund mit einem Schraubendreher den gewünschten Werteinstellen.

Zur Kontrolle der Einstellung läßt sich ein Voltmeter anden Monitorausgang (4/3) bzw. (5/1) (siehe Abschnitt2.2.4 und Tabelle 1 im Anhang) anschließen bzw. derSchreiberausgang umschalten (siehe Abschnitt 2.2.5).

HinweisZur optischen Kontrolle der Einstellung sind an demPotentiometerzugang Markierungspunkte (4/6) ange-

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bracht. Der Abstand zwischen den Markierungspunktenbeträgt jeweils etwa eine Druckdekade.

Die Schaltpunktfunktion steht am elektrischen Anschlußals potentialfreier Relaiskontakt (Schließer) am Pin 6und Pin 8 zur Verfügung. Bei Unterschreitung des einge-stellten Schaltdruckes ist die Schaltfunktion auch an derLED (4/1) erkennbar, die dann von „orange“ auf „grün“

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13

1

4

Abb. 5 THERMOVAC Transmitter TTR 211 S2

21 3 4 5 6

4 Potentiometer für den Voll-ausschlag-Abgleich

5 Potentiometer für Schalt-punkteinstellung

6 Markierungspunkte

Erläuterungen zur Abb. 41 Zweifarbige LED

orange: Betrieb (Power)grün: Schaltpunkt aktiviert

2 Potentiometer für den Nullpunkt-Abgleich

3 Monitorausgang (Klinkenbuchse 3,5 mm)

Abb. 4 Draufsicht vom THERMOVAC Transmitter TR 211 NPT

Trigger

Erläuterung zur Abb. 51 Monitorausgang2 Potentiometer für

Schaltpunkteinstellung3 LED (grün)4 Anschlußstecker

Pin 1 MasseanschlußPin 2 Relaiskontakt

„Schließer“Pin 3 Relaiskontakt

„Mitte“Pin 4 Relaiskontakt

„Öffner“

1

2

3

4

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2.2.5 Umschaltung Schreiberausgang

Über das Anlegen einer Steuerspannung an Pin 7 läßtsich der Schreiberausgang vom Meßsignal auf denSpannungswert der Schaltpunkteinstellung umschalten.

Als Bezugsmasse ist Pin 2 zu benutzen.

Eine Verbindung zwischen Pin 7 und Pin 2 oder dasAnlegen einer Spannung von 0 bis 1 V an Pin 7 bewirktdas Umschalten des Schreiberausgangs auf die Schalt-punkteinstellung.

Keine Verbindung zwischen Pin 7 und Pin 2 (Eingangoffen) oder das Anlegen einer Spannung von 11 bis 12V an Pin 7 bewirkt die Meßsignalausgabe am Schreibe-rausgang.

2.2.6 Kodierung

Zur Identifikation des angeschlossenen Transmittertypsund des Druckbereiches ist der THERMOVAC-Transmit-ter mit einem Kodierwiderstand (R = 27 kΩ) zwischenPin 4 und Pin 2 ausgestattet, der bei Anschluß anBetriebsgeräte bzw. Steuereinrichtungen ausgewertetwerden kann.

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wechselt.

Die Funktion des zweiten Schaltpunktes steht am elek-trischen Anschluß (5/4) als potentialfreier Wechselkon-takt zur Verfügung. Ist der Schaltpunkt aktiv, so leuchtetdie LED (5/3).

2.2.4 Monitorausgang

Der Monitorausgang (4/3) bzw. (5/1) ist als Klinkenbuch-se (3,5 mm) ausgeführt und erlaubt den Abgriff von Meß-signal und Triggereinstellung. Zum Anschluß z.B. einesVoltmeters ist der beigefügte Stereo-Klinkenstecker zuverwenden. Siehe hierzu auch Abbildung 6.

Abb. 6 Klinkenstecker für Monitorausgang

Meßsignal

Triggerschwellwert

2.3 InbetriebnahmeDen THERMOVAC-Transmitter TTR 211 S, TTR 211 S2,TTR 211 NPT oder TTR 216 S gemäß Abschnitt 2.1 und2.2 anschließen.

2.3.1 Betrieb

14,5 V bis 36 V Versorgung in den Transmitter einspeisen(siehe Abschnitt 2.2.1).

Die LED (4/1) leuchtet orange auf.

Das Meßsystem ist jetzt betriebsbereit.

Statusmeldung:LED leuchtet orange (grün / rot).- Schaltpunkt ist nicht aktiviert.

LED leuchtet grün- Schaltpunkt gemäß eingestelltem Wert ist aktiviert.

2.3.2 Meßsystem StatuserkennungDie störungsfreie Funktion ist dadurch gekennzeichnet,daß ab einem Druck von ca. 5·10-4 mbar bis zur Meßbe-reichsgrenze von 1000 mbar ein druckabhängiges Meß-signal vorhanden ist.

Bei Fadenbruch geht das Meßsignal auf 10,5 V und derRelaiskontakt nimmt die Ruhelage ein (offen).

2.4 StörungsbeseitigungLED leuchtet nicht.Mögliche Ursache: Betriebsspannung fehlt.

Das Meßsignal ist immer größer als 10 V, obwohl derDruck wesentlich kleiner als 103 mbar ist.Mögliche Ursache: Fadenbruch.Beseitigung: Meßzelle auswechseln.

Siehe Abschnitt 3.3.2.

Meßsignal liefert bei Athmosphärendruck (Vakuum-Anlage belüftet) keine korrekten Werte.Mögliche Ursache: Fehlabgleich.Beseitigung: Transmitter abgleichen.

Siehe Abschnitt 3.3.3.

Meßsignal weicht von 1,9 V ab, obwohl der Druck < 5·10-4 mbar ist.Mögliche Ursache: Fehlabgleich.Beseitigung: Transmitter abgleichen.

Siehe Abschnitt 3.3.3.

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3 Wartung

3.1 Service bei LEYBOLDFalls Sie ein Gerät an LEYBOLD schicken, geben Siean, ob das Gerät frei von gesundheitsgefährdendenSchadstoffen ist oder ob es kontaminiert ist. Wenn eskontaminiert ist, geben Sie auch die Art der Gefährdungan. Dazu müssen Sie ein von uns vorbereitetes Formu-lar benutzen, das wir Ihnen auf Anfrage zusenden.

Eine Kopie dieses Formulars ist am Ende der Ge-brauchsanleitung abgedruckt: “Erklärung über Kontami-nierung von Vakuumgeräten und -komponenten”.

Befestigen Sie das Formular am Gerät oder legen Sie esdem Gerät bei. Diese Erklärung über Kontaminierung isterforderlich zur Erfüllung gesetzlicher Auflagen und zumSchutz unserer Mitarbeiter.

Geräte ohne Erklärung über Kontaminierung muß LEY-BOLD an den Absender zurückschicken.

3.2 Die BetriebselektronikDie Betriebselektronik im THERMOVAC-TransmitterTTR 211 S, TTR 211 S2, TTR 211 NPT und TTR 216 Sist wartungsfrei.

3.3 Die Meßzelle

3.3.1 Reinigen der Meßzelle

Das Reinigen der Meßzelle erfolgt zweckmäßig durchorganische Lösemittel (Benzin, Äther o.ä.).

HinweisDas Reinigungsmittel CCL4 ist für die Reinigung derMeßröhre TTR 211 S / 211 S2 und TTR 211 NPT mit ein-geklebter Durchführung ungeeignet. Die Klebeverbin-dung ist gegen längere Einwirkung von CCL4 nicht resi-stent.

Mit mechanischen Mitteln (Bürsten u.a.) darf die Meß-zelle nicht behandelt werden, da hierbei der Meßfadenzerstört werden kann. Die Reinigungsflüssigkeit solltemittels Injektionsspritze in die Meßzelle gefüllt werdenund einige Zeit einwirken. Nicht schütteln!

Nach dem Ausgießen des Lösemittels ein- oder zweimalnachspülen. Es ist möglich, daß der Meßwert nach derReinigung im Bereich kleiner als 10-2 mbar vorrüberge-hend zu hoch ist.

Nach Reinigung und erfolgter anschließender Trocknungdie Meßzelle auf einen Druck < 5·10-4 mbar evakuieren.

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16 GA 09.216/2.01 - 02/96

Der Meßwert muß dabei auf den Wert 5·10-4 mbarzurückgehen. Wenn nicht, muß neu abgeglichen werden;siehe Abschnitt 3.3.3

3.3.2 Austausch der Meßzelle

Zum Austausch der Meßzelle (z.B. bei Fadenbruch oderSensorverschmutzung) ist zunächst das Gehäuse zu öff-nen.

HinweisZur Verbindung der Gehäuseteile befinden sich imDeckel (7/3) Kunststoffhaken, die in die dafür vorgese-henen Schlitze (7/5) des Gehäuses einrasten müssen.

- Zum Öffnen des Deckels (7/3) die Kunststoffhaken anden Schlitzen (7/5) mittels Schraubendreher nach hin-ten drücken und Deckel abziehen. Deckel aus den obe-ren Rastnasen (7/2) aushängen.

- Einlegeplatte (7/4) herausziehen.- Elektronikeinheit mit Meßzelle aus dem Gehäuse her-

ausziehen.- Meßzelle von der Elektronikeinheit abziehen.- Meßzelle auswechseln.

Hinweis- Beim Zusammenstecken von Meßzelle und Elektronik-

einheit braucht nicht auf die Polarität der Meßzellenstif-te geachtet zu werden.

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17GA 09.216/2.01 - 02/96

1

2

4

3

Erläuterungen zur Abb. 71 Gehäuse2 Rastnasen3 Deckel4 Einlegeplatte5 Schlitze

5

Abb. 7 Seitenansicht TTR 211 S

- Beim Zusammenbau des Transmitters ist darauf zuachten, daß der Anpreßgummi für die Temperaturfühlerin das Gehäuse eingelegt ist, die Isolierscheibe auf dieZelle aufgelegt ist und die Isolierplatte zwischen Elek-tronik und Gehäuseoberteil eingelegt ist.

Der Zusammmenbau erfogt sinngemäß in umgekehrterReihenfolge.

Transmitterelektronik auf die neue Meßzelle abgleichen.Siehe Abschnitt 3.3.3.

3.3.3 Abgleich der Meßzelle

Die Alterung und die Verschmutzung des Meßfadens be-einträchtigen die Genauigkeit der Druckanzeige. Daherwird empfohlen, den Transmitter bei Bedarf bzw. nachMeßzellentausch abzugleichen.

Der Abgleich wird wie folgt durchgeführt:

Blindstopfen der Potentiometer (4/2) und (4/4) vomGehäuse abnehmen.

Voltmeter mit Bereich 0 bis 10 V an den Monitorausgang(4/3) anschließen.

Vakuum-Apparatur belüften und Potentiometer (4/4) fürden Vollausschlag-Abgleich so einstellen, daß am Volt-meter 10 V angezeigt werden.

Vakuum-Apparatur auf einen Druck kleiner 5·10-4 mbarevakuieren und Potentiometer (4/2) für den Nullpunkt-Abgleich so einstellen, daß am Voltmeter 1,9 Volt ange-zeigt werden.

Vakuum-Apparatur belüften und nochmals den Vollaus-schlag-Abgleich kontrollieren. Eine eventuelle Abwei-chung muß mit dem Potentiometer (4/4) für den Vollaus-schlag korrigiert werden.

War eine Kontrolle des Vollausschlag-Abgleichs notwen-dig, sollte der Nullpunkt-Abgleich wiederholt werden.

Nach dem Abgleich die Blindstopfen der Potentiometer(4/2) und (4/4) wieder aufstecken.

4 ErsatzteillisteBest.-Nr.

Gehäuse komplett mit Deckel und Einlegeplatte 200 61 598Stopfen 200 27 544Anpreßgummi 200 28 397Ersatzmeßzelle zu TTR 211 S (DN 16 KF) 157 75Ersatzmeßzelle zu TTR 211 S2 (DN 16 KF) 157 75Ersatzmeßzelle zu TTR 211 NPT (1/8“ NPT) 896 34Ersatzmeßzelle zu TTR 216 S (DN 16 KF) 157 77

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GA 09.216/2.01 - 02/96

Anhang 1

Tabelle 1 Verhalten von Ausgangsspannung zum Druck

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U (Out) Druck[V] [mbar]————————————1,9 5,00E-042 5,99E-042,1 7,17E-042,2 8,57E-042,3 1,03E-032,4 1,23E-032,5 1,47E-032,6 1,75E-032,7 2,10E-032,8 2,51E-032,9 3,00E-033 3,59E-033,1 4,30E-033,2 5,14E-033,3 6,15E-033,4 7,35E-033,5 8,80E-033,6 1,05E-023,7 1,26E-023,8 1,51E-023,9 1,80E-024 2,15E-02

U (Out) Druck[V] [mbar]————————————4,1 2,58E-024,2 3,08E-024,3 3,69E-024,4 4,41E-024,5 5,27E-024,6 6,31E-024,7 7,54E-024,8 9,02E-024,9 1.08E-015 1,29E-015,1 1,54E-015,2 1,85E-015,3 2,21E-015,4 2,64E-015,5 3,16E-015,6 3,78E-015,7 4,52E-015,8 5,41E-015,9 6,47E-016 7,74E-016,1 9,26E-016,2 1,11E+00

U (Out) Druck[V] [mbar]————————————6,3 1,32E+006,4 1,58E+006,5 1,90E+006,6 2,27E+006,7 2,71E+006,8 3,24E+006,9 3,88E+007 4,64E+007,1 5,55E+007,2 6,64E+007,3 7,94E+007,4 9,50E+007,5 1,14E+017,6 1,36E+017,7 1,63E+017,8 1.94E+017,9 2,33E+018 2,78E+018,1 3,33E+018,2 3,98E+018,3 4,76E+018,4 5,70E+01

U (Out) Druck[V] [mbar]————————————8,5 6,81E+018,6 8,15E+018,7 9,75E+018,8 1,17E+028,9 1,39E+029 1,67E+029,1 2,00E+029,2 2,39E+029,3 2,85E+029,4 3,41E+029,5 4,08E+029,6 4,89E+029,7 5,84E+029,8 6,99E+029,9 8,36E+0210 1,00E+03

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Anhang 2

Anschlußbeispiel TTR 211 S / TTR 216 S

TTR 211 STTR 216 S

Schaltpunktkontakt60 V, 0,5 A DC

Trigger-einstellung

Umschaltung Meßsignal

7

1

3

5

6

8

2

Meßsignal

0...10 V

GND

14,5 V bis 36 V

+

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22 GA 09.216/2.01 - 02/96

TTR 211 STTR 216 S

PTR 225PTR 237

Anschlußbeispiel TTR 211 S / TTR 216 S und PTR 225 / PTR 237

Hochspannung „EIN / AUS“ GND

14,5 V bis 36 V+

0...10 V

0...10 V

3

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2

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Schaltpunktkontakt60 V, 0,5 A DC

GA 09.216/2.01 - 02/96

23

23

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1. 2. 3. 4. 5.

Verteiler: Blatt 1 (weiß) an den Hersteller oder seinen Beauftragten senden - Blatt 2 (gelb) den Begleitpapieren der Sendung beifügen - Blatt 3 (blau) Kopie für den Versender

5.R

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