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Vakuum in Forschung und Praxis (2001) Nr. 6 387
Produkt- und Lieferantenverzeichnis fuÈ r den gesamten Vakuumbereich
Product and Suppliers Directory for Vacuum Science and Technology
Analysatoren, Restgas-/residual gas analysers (RGA)
LEDA-MASS in DeutschlandDipl. Phys. Ulrich MiûeGasanalyse-SystemeDeichselbach 62D-58285 GevelsbergTel. (0 23 32) 95 81-0, Fax -95 81 [email protected]
MKS Instruments Deutschland GmbHSchatzbogen 43D-81829 MuÈ nchenTel. 0 89/42 00 08-0, Fax -42 41 06
Pfeiffer Vacuum GmbHBerliner Str. 4335614 AsslarTel. 0 64 41/802-0, Fax [email protected]://www.pfeiffer-vacuum.de
Ulvac GmbHCarl-Zeiss-Ring 3D-85737 Ismaning b. MuÈ nchenTel. 0 89/96 09 09-0, Fax -96 09 09-96http://www.ulvac.co.jphttp://www.ulvac.com
VACOM GmbHBraÈ ndstroÈ mstr. 14, 07749 JenaTel. 03641/4275-0, Fax -4275-24www.vacom.de, [email protected]
Aufdampfmaterialien/deposition materials
CHEMCO Chemieprodukte GmbHKalkofenstraûe 3D-63628 Bad Soden-SalmuÈ nsterTel. 0 60 56-9 10 23-0 + 30 99Fax 0 60 56-9 10 23 20http://www.chemco.de
MaTecK GmbH Forschungs-materialienIm Langenbroich 2052428 JuÈ lichTel: 0 24 61/93 52-0, Fax: [email protected]://www.mateck.de
Merck KGaAPatinalâ-Zentrum64579 GernsheimTel. 0 62 58-12 65 83Fax. 0 62 58-12 65 67
Pfeiffer Vacuum GmbHBerliner Str. 4335614 AsslarTel. 0 64 41/802-0, Fax [email protected]://www.pfeiffer-vacuum.de
Ulvac GmbHCarl-Zeiss-Ring 3D-85737 Ismaning b. MuÈ nchenTel. 0 89/96 09 09-0, Fax -96 09 09-96http://www.ulvac.co.jphttp://www.ulvac.com
Unaxis DeutschlandVertriebs GmbHKreuzhofstraûe 10D-81476 MuÈ nchenTel. 0 89/7 55 05-0, Fax. -110http://www.unaxis.com
Aufdampfschichten, duÈ nne/thin films
ERNST BEFORT WETZLARBraunfelser Str. 26 ± 30D-35578 WetzlarTel. 0 64 41/92 41-0, Fax -92 41 33DuÈ nne Schichten fuÈ r die OptikSchichtentwicklung-Substratfertigung
Beschichtungen, Hartstoff-,(PVD/CVD)/coatings, hard- (PVD/CVD)
EITEC Gesellschaft fuÈ r metallischesHartstoffbeschichten mbH & Co. KGIndustriestraûe 57, D-44894 BochumTel. 02 34/2 82 93, Fax -29 23 13
MAT GmbH DresdenReisstr. 3, 01257 DresdenTel. (03 51) 20 77 20, Fax -2 07 72 22E-mail: [email protected]://www.mat-dresden.de
Ulvac GmbHCarl-Zeiss-Ring 3D-85737 Ismaning b. MuÈ nchenTel. 0 89/96 09 09-0, Fax -96 09 09-96http://www.ulvac.co.jphttp://www.ulvac.com
VTD VakuumtechnikDresden GmbHBismarckstr. 66, 01257 DresdenTel. 03 51/28 05-0, Fax -2 80 52 [email protected]://www.vtd.de
DC NetzgeraÈ te fuÈ r Plasma-anwendungen/DC power supplied for plasmaapplication
Advanced Energy Industries GmbHRaiffeisenstr. 3270794 FilderstadtTel. (07 11) 7 79 27-0, Fax 7 77 87 [email protected]
ENI GermanyA Division of Astec Germany GmbHSielminger Str. 63, 70771 LeinfeldenTel. 07 11/9 47 70-0, Fax -9 47 70-25http://www.enipower.com
Dickschichtanlagen/thick film coating systems
VTD VakuumtechnikDresden GmbHBismarckstr. 66,01257 DresdenTel. 03 51/28 05-0, Fax -2 80 52 [email protected]://www.vtd.de
Direktantrieb, Hohlwellenmotor/magnetic fluid sealed torquemo-tor with solid or holow sharft
ALMA driviing elements GmbHObere Heeg 597852 SchollbrunnTel. �49 (0)93 94/97 00-0Fax �49 (0)93 94/97 00-50e-mail: [email protected]
DruckmessgeraÈ te/pressure gauges
MKS Instruments Deutschland GmbHSchatzbogen 43D-81829 MuÈ nchenTel. 0 89-42 00 08, Fax -42 41 06
Druckregler/pressure controllers
MKS Instruments Deutschland GmbHSchatzbogen 43D-81829 MuÈ nchenTel. 0 89/42 00 08-0, Fax -42 41 06
VATVakuum-Apparate-TechnikDeutschland GmbHBretonischer Ring 785630 Grasbrunn-NeukeferlohTel. (0 89) 46 50 15, Fax -46 37 [email protected]://www.vat.ch
Wagner Mess- u. Regeltechnik GmbHPirazzistr. 1863067 OffenbachTel. 0 69/8 29 77 60, Fax 82 97 76 [email protected]://www.wagner-msr.de
DuÈ nnschichtanlagen/thin films coating systems
VON ARDENNEANLAGENTECHNIK GMBHPlattleite 19/29,01324 DresdenTel. (03 51) 26 37-3 00, Fax 26 37-3 [email protected]://www.ardenne-at.de
FHR-Anlagenbau GmbHAm HuÈ gel 201458 Ottendorf-OkrillaTel. (03 52 05) 52 00, Fax -5 20 40http://www.fhr-ab.de
Leybold Systems � Service GmbHZur Wetterwarte 50/Haus 30101109 DresdenTel. (03 51) 8 85 50-16, Fax 8 85 50-42http://www.leybold-dresden.de
Malz & Schmidt GbRBeschichtungsanlagen/MeûtechnikOssietzkystr. 37A,D-01662 MeiûenTel. (0 35 21) 46 33 06, Fax -46 33 05http://[email protected]
MAT GmbH DresdenReisstr. 3, 01257 DresdenTel. (03 51) 20 77 20, Fax -2 07 72 22E-mail: [email protected]://www.mat-dresden.de
Dr. JuÈ rgen Christian MuÈ llerGoldgrubenstr. 8D-60439 Frankfurt/M.Tel. 0 69-95 81 01-58, Fax -68e-mail: [email protected]: www.JCMueller.de
STARC TECHNOLOGIESEin Unternehmensbereich derAWS Achslagerwerk Staûfurt GmbHAn der Liethe 5, 39418 StaûfurtTel. 0 39 25/9 60-3, Fax -405http//:www.starc-technologies.de
Ulvac GmbHCarl-Zeiss-Ring 3D-85737 Ismaning b. MuÈ nchenTel. 0 89/96 09 09-0, Fax -96 09 09-96http://www.ulvac.co.jphttp://www.ulvac.com
Unaxis DeutschlandVertriebs GmbHKreuzhofstraûe 10D-81476 MuÈ nchenTel. 0 89/7 55 05-0, Fax. -110http://www.unaxis.com
VTD VakuumtechnikDresden GmbHBismarckstr. 66, 01257 DresdenTel. 03 51/28 05-0, Fax -2 80 52 [email protected] http://www.vtd.de
Elektronenstrahlverdampfer/Electron beam evaporators
VON ARDENNEANLAGENTECHNIK GMBHPlattleite 19/29, 01324 DresdenTel. (03 51) 26 37-3 00, Fax 26 37-3 [email protected]://www.ardenne-at.de
Ferrotec GmbHHohes Gestade 14, 72622 NuÈ rtingenTel. 0 70 22/92 77-0, Fax -92 77-22http://www.ferrotec.com
Im Internet unter: http://www.wiley-vch.de/home/vip/
Hositrad/DeutschlandLindnergasse 2D-93047 RegensburgTel. 09 41-5 58 27, Fax 09 41-56 22 96e-mail: [email protected]: www.hositrad.nl
Entspiegelung Mehrschichten-/multilayer antireflection coatings
ERNST BEFORT WETZLARBraunfelser Str. 26 ± 30D-35578 WetzlarTel. 0 64 41/92 41-0, Fax -92 41 33DuÈ nne Schichten fuÈ r die OptikSchichtentwicklung-Substratfertigung
Ersatzteile fuÈ r Vakuumpumpen/spare parts for vacuum pumps
intervac e. K.Gemeindedinger Straûe 7D-97892 KreuzwertheimTel. 0 93 42-2 39 25, Fax -2 39 27e-mail: [email protected]://www.Intervac.de
Flansch-Bauteile/flanges and fittings
Hositrad/DeutschlandLindnergasse 2D-93047 RegensburgTel. 09 41-5 58 27, Fax 09 41-56 22 96e-mail: [email protected]: www.hositrad.nl
LINNEMANN GmbHHeerweg 14 ± 16D-72070 TuÈ bingenTel. 0 70 71 9 75 55-0, Fax -97 555 10http://www.linnemann-online.com
novotek GmbHStettiner Str. 22D-71032 BoÈ blingenTel. 0 70 31/27 20 10, Fax -27 20 [email protected]://www.novotek-vakuum.de
Trinos Vakuum-Systeme GmbHBertha-von-Suttner-Str. 537085 GoÈ ttingenTel. 05 51-3 70 00 20, Fax 3 70 00 23http://www.Trinos.dee-mail: [email protected]
VACOM GmbHBraÈ ndstroÈ mstr. 14, 07749 JenaTel. 03641/4275-0, Fax -4275-24www.vacom.de, [email protected]
VTS Joachim Schwarz GmbHHindenburgstr. 1276332 Bad HerrenalbTel. 0 70 83/5 18 33, Fax 5 19 25e-mail: [email protected]://www.vts-gmbh.de
WISSEL GmbHHaagstr. 4363776 MoÈ mbris-HohlTel. 06029/4003, Fax -4189e-mail: [email protected]://www.wissel-qim.de
Hochfrequenzgeneratoren,Plasma-/plasma-rf-generators
Advanced Energy Industries GmbHRaiffeisenstr. 3270794 FilderstadtTel. (07 11) 7 79 27-0, Fax -7 77 87 [email protected]
Dressler Hochfrequenztechnik GmbHMuÈ nsterau 168D-52224 StolbergTel. 02402/98810, Fax. 988111http://www.dressler.com
ENI GermanyA Division of Astec Germany GmbHSielminger Str. 63,70771 LeinfeldenTel. 07 11/9 47 70-0, Fax -9 47 70-25http://www.enipower.com
Hochfrequenz-VerstaÈ rker/HF-amplifiers
ENI GermanyA Division of Astec Germany GmbHSielminger Str. 63,70771 LeinfeldenTel. 07 11/9 47 70-0, Fax -9 47 70-25http://www.enipower.com
HochspannungsgeraÈ te undZubehoÈ r/high-voltage power supply andaccessories
Ferrotec GmbHHohes Gestade 14,72622 NuÈ rtingenTel. 0 70 22/92 77-0, Fax -92 77-22http://www.ferrotec.com
Ionenquellen/IonenstrahlquellenIon beam sources
Dr. JuÈ rgen Christian MuÈ llerGoldgrubenstr. 8D-60439 Frankfurt/M.Tel. 0 69-95 81 01-58, Fax -68e-mail: [email protected]: www.JCMueller.de
VTD VakuumtechnikDresden GmbHBismarckstr. 66,01257 DresdenTel. 03 51/28 05-0, Fax -2 80 52 [email protected]://www.vtd.de
Ionenstrahl-Technologien/ion beam technologies
MAT GmbH DresdenReisstr. 3, 01257 DresdenTel. (03 51) 20 77 20, Fax -2 07 72 22E-mail: [email protected]://www.mat-dresden.de
Kryostate/cryostatic temperature regulators
EBARA Germany GmbHDonaustr. 7,D-63452 HanauTel. 0 61 81/18 76 20, Fax 18 76 40
KuÈ hlsysteme, RuÈ ckkuÈ hler undWaÈ rmetauschersysteme fuÈ rWasser, Sole, OÈ l/cooling systems, recoolingsystems, and interchanger forwater, brine, oil
National Lab GmbHKaÈ lte- und TemperiertechnikGrambeker Weg 15723879 MoÈ llnTel. 04542/8491-21,Fax 04542/8491-11e-mail: [email protected]://www.NationalLab.com
Kunststoff-Metallisierung/metallising of plastics
VON ARDENNEANLAGENTECHNIK GMBHPlattleite 19/29,01324 DresdenTel. (03 51) 26 37-3 00, Fax 26 37-3 [email protected]://www.ardenne-at.de
LecksuchgeraÈ te/leak detectors
Alcatel Hochvakuumtechnik GmbHAm Kreuzeck 10D-97877 WertheimTel. 0 93 42/96 10-0, Fax -96 10 30e-Mail: [email protected]://www.alcatel.com/cable/hvt
Pfeiffer Vacuum GmbHBerliner Str. 4335614 AsslarTel. 0 64 41/802-0, Fax [email protected]://www.pfeiffer-vacuum.de
Ulvac GmbHCarl-Zeiss-Ring 3D-85737 Ismaning b. MuÈ nchenTel. 0 89/96 09 09-0, Fax -96 09 09-96http://www.ulvac.co.jphttp://www.ulvac.com
Massenfluss-Messer und -Regler/mass-flow meters and -controllers
MKS Instruments Deutschland GmbHSchatzbogen 43D-81829 MuÈ nchenTel. 0 89/42 00 08-0, Fax -42 41 06
VACOM GmbHBraÈ ndstroÈ mstr. 14, 07749 JenaTel. 03641/4275-0, Fax -4275-24www.vacom.de, [email protected]
Wagner Mess- u. Regeltechnik GmbHPirazzistr. 1963067 OffenbachTel. 069/8 29 77 60, Fax 82 97 76 [email protected]://www.wagner-msr.de
Massenspektrometer/mass-spectrometers
LEDA-MASS in DeutschlandDipl. Phys. Ulrich MiûeGasanalyse-SystemeDeichselbach 62D-58285 GevelsbergTel. (0 23 32) 95 81-0, Fax -95 81 [email protected]
Pfeiffer Vacuum GmbHBerliner Str. 4335614 AsslarTel. 0 64 41/802-0, Fax [email protected]://www.pfeiffer-vacuum.de
SI Scientific Instruments GmbHRoÈ merstr. 67D-82205 GilchingTel. 0 81 05-7 79 40, Fax -55 77http://www.SI-GmbH.dee-mail: [email protected]
MembranbaÈ lge/bellows
Hositrad/DeutschlandLindnergasse 2D-93047 RegensburgTel. 09 41-5 58 27, Fax 09 41-56 22 96e-mail: [email protected]: www.hositrad.nl
VACOM GmbHBraÈ ndstroÈ mstr. 14, 07749 JenaTel. 03641/4275-0, Fax -4275-24www.vacom.de, [email protected]
VATVakuum-Apparate-TechnikDeutschland GmbHBretonischer Ring 785630 Grasbrunn-NeukeferlohTel. (0 89) 46 50 15, Fax -46 37 [email protected]://www.comvat.com
Mikrowellen-Generatoren undKomponenten/microwave-generators andcomponents
Muegge Electronic GmbHMikrowellen-Systeme fuÈ rPlasmaerzeugung undindustrielle ErwaÈ rmungD-64385 ReichelsheimTel. 0 61 64-93 07-0, Fax -93
SAIREM Mikrowellen & HochfrequenzIBTIngenieur- u. VertriebsbuÈ ro fuÈ rVerfahrenstechnik Dr. Johannes TilleReinheimer Straûe 185D-64846 Groû ZimmernTel. 0 60 71-95 11 10, Fax -95 11 [email protected]
OÈ le und Fette fuÈ r Vakuumpumpen/oil and grease for vacuum pumps
intervac e. KGemeindedinger Straûe 7D-97892 KreuzwertheimTel. 0 93 42-2 39 25, Fax -2 39 27e-mail: [email protected]://www.Intervac.de
VTS CreaTec GmbHIndustriestr. 974391 ErligheimTel. 07143-8705-15, Fax -16e-mail: [email protected]://www.createc.de
WCI Deutschland GmbHVorster Heidweg 447661 Issum-SevelenTel. 0 28 35/9 57 44e-mail: [email protected]://www.ecosyn.com
Plasmabehandlungsanlagen/plasma treatment systems
VTD VakuumtechnikDresden GmbHBismarckstr. 66, 01257 DresdenTel. 03 51/28 05-0, Fax -2 80 52 [email protected]://www.vtd.de
Plasmabeschichtungs-,aÈ tzanlagen/plasma coating and etchingsystems
ANTEC GmbHIndustriestraûe 2 ± 4D-65779 KelkheimTel. 0 61 95/9 73-0, Fax -1 90auch: Plasma-Lohnveredelung
Pfeiffer Vacuum GmbHBerliner Str. 4335614 AsslarTel. 0 64 41/802-0, Fax [email protected]://www.pfeiffer-vacuum.de
388 Vakuum in Forschung und Praxis (2001) Nr. 6
STARC TECHNOLOGIESEin Unternehmensbereich derAWS Achslagerwerk Staûfurt GmbHAn der Liethe 5,39418 StaûfurtTel. 0 39 25/9 60-3, Fax -405http//:www.starc-technologies.de
Unaxis DeutschlandVertriebs GmbHKreuzhofstr. 10,D-81476 MuÈ nchenTel. 0 89/7 55 05-0, Fax. -110http://www.unaxis.com
Plasma-Monitor-Systeme/plasma-monitor-systems
VON ARDENNEANLAGENTECHNIK GMBHPlattleite 19/29,01324 DresdenTel. (03 51) 26 37-3 00, Fax 26 37-3 [email protected]://www.ardenne-at.de
Pfeiffer Vacuum GmbHBerliner Str. 43,35614 AsslarTel. 0 64 41/802-0, Fax [email protected]://www.pfeiffer-vacuum.de
Plasmaquellen/Plasmastrahl-quellenplasmasource/plasmabeam-source
IPTIonen- und Plasmatechnik GmbHvon-Miller-Str. 1567661 KaiserslauternTel. 06 31-9 93 59, Fax -3 50 48 [email protected]://www.iptgmbh.de
Dr. JuÈ rgen Christian MuÈ llerGoldgrubenstr. 8D-60439 Frankfurt/M.Tel. 0 69-95 81 01-58, Fax -68e-mail: [email protected]: www.JCMueller.de
Schichtmesssysteme/coatingmeasuring systems
amtec Analysenmeûtechnik GmbHWachsmuthstr. 3,D-04229 LeipzigTel. 03 41/49 75-516, Fax -49 75-517
Spannketten-Flanschverbindun-gen/chain clamps flanges
VATVakuum-Apparate-TechnikDeutschland GmbHBretonischer Ring 785630 Grasbrunn-NeukeferlohTel. (0 89) 46 50 15, Fax -46 37 [email protected]://www.vat.ch
Spektrometer, ESCA-/ESCA-spectrometers
KRATOS AnalyticalA Shimadzu Group Comp.Hirtenpfad 1, D-65719 HofheimTel. 0 61 92/935-325, Fax [email protected]
Sputteranlagen/sputter-systems (UHV)
VON ARDENNEANLAGENTECHNIK GMBHPlattleite 19/29,01324 DresdenTel. (03 51) 26 37-3 00, Fax 26 37-3 [email protected]://www.ardenne-at.de
JUST VakuumtechnikDaimlerstr. 1766849 LandstuhlTel. 06371/9276-00, Fax. 9276-19http://www.justvakuum.de
Leybold Systems � Service GmbHZur Wetterwarte 50/Haus 30101109 DresdenTel. (03 51) 8 85 50-16, Fax 8 85 50-42http://www.leybold-dresden.de
Ulvac GmbHCarl-Zeiss-Ring 3D-85737 Ismaning b. MuÈ nchenTel. 0 89/96 09 09-0, Fax -96 09 09-96http://www.ulvac.co.jphttp://www.ulvac.com
Sputtertargets/sputter-targets
CHEMCO Chemieprodukte GmbHKalkofenstraûe 3D-63628 Bad Soden-SalmuÈ nsterTel. 0 60 56-9 10 23-0 + 30 99,Fax 0 60 56-9 10 23 20http://www.chemco.de
Dynacore GmbHAlsfelder Str. 1164289 DarmstadtTel. 0 61 51/97 50-0, Fax 97 50-31e-Mail: [email protected]
FHR-Anlagenbau GmbHAm HuÈ gel 201458 Ottendorf-OkrillaTel. (03 52 05) 52 00, Fax -5 20 40http://www.fhr-ab.de
MaTecK GmbH Forschungs-materialienIm Langenbroich 2052428 JuÈ lichTel: 0 24 61/93 52-0, Fax: [email protected]://www.mateck.de
Tosoh Europe B.V.Group Tosoh SMDRepresentative OfficePostfach 16 20, 97866 WertheimTel. 0 93 42/9 22 80, Fax -92 28 40http://www.tsmd.com
Steuerungstechnik fuÈ rVakuumanlagen/controls for vacuumplants
AIS Automation Dresden GmbHOtto-Mohr-Str. 6D-01237 DresdenTel. �49 (0) 351/21 66-0,Fax �49 (0) 351/21 66-300Internet: http://www.ais-dresden.dee-mail: [email protected]
IBB AutomationBingenheimer Str. 3261203 ReichelsheimTel. 0 60 35/91 77 40, Fax 91 77 42E-Mail: [email protected]: www.ibb-automation.de
StromdurchfuÈ hrungen/electrical power feed-through
FRIATEC AGDivision FRIALIT â- DEGUSSITâ-OxidkeramikPostfach 71 02 61,68222 MannheimTel. 06 21/4 86-13 78, Fax 47 79 99e-mail: [email protected]: http://www.friatec.de
Hositrad/DeutschlandLindnergasse 2,D-93047 RegensburgTel. 09 41-5 58 27, Fax 09 41-56 22 96e-mail: [email protected]: www.hositrad.nl
VACOM GmbHBraÈ ndstroÈ mstr. 14, 07749 JenaTel. 03641/4275-0, Fax -4275-24www.vacom.de, [email protected]
Stromversorgungen/power supplies
Puls-PlasmaMAGPULSStromversorgungs Systeme GmbHIm Unterfeld 19,76547 SinzheimTel. 0 72 21/9 87-8 50, Fax -4 54http://www.magpuls.de
Thermal-Vakuum-Testkammern/thermal vacuum test chambers
JUST VakuumtechnikDaimlerstr. 17, 66849 LandstuhlTel. 06371/9276-00, Fax. 9276-19http://www.justvakuum.de
SGI-Prozeûtechnik GmbHHelmershaÈ user Straûe 34D-63674 AltenstadtTel. 0 60 47/60 92, Fax 72 50http://www.sgi-prozesstechnik.dee-mail: [email protected]
UHV-Bauteile, -Systeme, -Mess-geraÈ te/UHV-systems and -gauges
Alcatel Hochvakuumtechnik GmbHAm Kreuzeck 10,D-97877 WertheimTel. 0 93 42/96 10-0, Fax -96 10 30e-mail: [email protected]://www.alcatel.com/cable/hvt
Hositrad/DeutschlandLindnergasse 2D-93047 RegensburgTel. 09 41-5 58 27, Fax 09 41-56 22 96e-mail: [email protected]: www.hositrad.nl
Pfeiffer Vacuum GmbHBerliner Str. 4335614 AsslarTel. 0 64 41/802-0, Fax [email protected]://www.pfeiffer-vacuum.de
VACOM GmbHBraÈ ndstroÈ mstr. 14,07749 JenaTel. 03641/4275-0, Fax -4275-24www.vacom.de, [email protected]
VTS Joachim Schwarz GmbHHindenburgstr. 1276332 Bad HerrenalbTel. 0 70 83/5 18 33, Fax 5 19 25e-mail: [email protected]://www.vts-gmbh.de
UHV-Manipulatoren/UHV-manipulators
Hositrad/DeutschlandLindnergasse 2,D-93047 RegensburgTel. 09 41-5 58 27, Fax 09 41-56 22 96e-mail: [email protected]: www.hositrad.nl
VTS Joachim Schwarz GmbHHindenburgstr. 1276332 Bad HerrenalbTel. 0 70 83/5 18 33, Fax 5 19 25e-mail: [email protected]://www.vts-gmbh.de
Vakuumanlagen, Montage undService/vacuumplant, installation andmaintenance
VACOM GmbHBraÈ ndstroÈ mstr. 14, 07749 JenaTel. 03641/4275-0, Fax -4275-24www.vacom.de, [email protected]
VakuumdrehdurchfuÈ hrungen undZubehoÈ r/rotary feed-through and acces-sories
ALMA driving elements GmbHObere Heeg 5, 97852 SchollbrunnTel. �49 (0)93 94/97 00-0Fax �49 (0)93 94/97 00-50e-mail: [email protected]
Ferrotec GmbHHohes Gestade 14, 72622 NuÈ rtingenTel. 0 70 22/92 77-0, Fax -92 77-22http://www.ferrotec.com
Vakuum-MessgeraÈ te/vacuum gauges
Alcatel Hochvakuumtechnik GmbHAm Kreuzeck 10D-97877 WertheimTel. 0 93 42/96 10-0, Fax -96 10 30e-mail: [email protected]://www.alcatel.com/cable/hvt
ILMVAC GmbHAm Vogelherd 20, D-98693 IlmenauTel. 0 36 77/6 04-0, Fax -60 41 10http://www.ilmvac.dehttp://www.ilmvac.com
MKS Instruments Deutschland GmbHSchatzbogen 43D-81829 MuÈ nchenTel. 0 89/42 00 08-0, Fax -42 41 06
Pfeiffer Vacuum GmbHBerliner Str. 4335614 AsslarTel. 0 64 41/802-0, Fax [email protected]://www.pfeiffer-vacuum.de
Thyracont Elektronic GmbHMax-Emanuel-Str. 10D-94036 PassauTel. 08 51/9 59 86-0, Fax -40e-mail: [email protected]://www.thyracont.com
VACOM GmbHBraÈ ndstroÈ mstr. 14, 07749 JenaTel. 03641/4275-0, Fax -4275-24www.vacom.de, [email protected]
Wenzel Instruments Aps, DaÈ nemarkTel. � 45 4492-9299, Fax -9499http://www.wenzel.dke-mail: [email protected]
Vakuum in Forschung und Praxis (2001) Nr. 6 389
VakuumoÈ fen/vacuum furnaces
PVA PFEIFFERVakuum-Anlagenbau GmbHEmmeliusstraûe 33, D-35614 AûlarTel. 0 64 41/8 02-1 10, Fax /8 02-1 11http://www.pva-gmbh.de
SCHMETZ GmbH ± VakuumoÈ fenHolzener Str. 39D-58708 MendenTel. 0 23 73/6 86-0, Fax 6 86-2 [email protected]://www.schmetz.de
Ulvac GmbHCarl-Zeiss-Ring 3D-85737 Ismaning b. MuÈ nchenTel. 0 89/96 09 09-0, Fax -96 09 09-96http://www.ulvac.co.jphttp://www.ulvac.com
Vakuum-Probenheizungen/heatable vacuum sample holder
VTS CreaTec GmbHIndustriestr. 974391 ErligheimTel. 07143-8705-15, Fax -16e-mail: [email protected]://www.createc.de
Vakuumpumpen/vacuum pumps
Alcatel Hochvakuumtechnik GmbHAm Kreuzeck 10D-97877 WertheimTel. 0 93 42/96 10-0, Fax -96 10 30e-mail: [email protected]://www.alcatel.com/cable/hvt
EBARA Germany GmbHDonaustr. 7D-63452 HanauTel. 0 61 81/18 76 20, Fax 18 76 40
ILMVAC GmbHAm Vogelherd 20D-98693 IlmenauTel. 0 36 77/6 04-0, Fax -60 41 10http://www.ilmvac.dehttp://www.ilmvac.com
Pfeiffer Vacuum GmbHBerliner Str. 4335614 AsslarTel. 0 64 41/802-0, Fax [email protected]://www.pfeiffer-vacuum.de
Ulvac GmbHCarl-Zeiss-Ring 3D-85737 Ismaning b. MuÈ nchenTel. 0 89/96 09 09-0, Fax -96 09 09-96http://www.ulvac.co.jphttp://www.ulvac.com
VACOM GmbHBraÈ ndstroÈ mstr. 14, 07749 JenaTel. 03641/4275-0, Fax -4275-24www.vacom.de, [email protected]
Vakuumpumpen, Diffusions-/diffusion vacuum pumps
ILMVAC GmbHAm Vogelherd 20D-98693 IlmenauTel. 0 36 77/6 04-0, Fax -60 41 10http://www.ilmvac.dehttp://www.ilmvac.com
Vakuumpumpen, Kryo-/cryo pumps/Kryopumpen-Service
EBARA Germany GmbHDonaustr. 7D-63452 HanauTel. 0 61 81/18 76 20, Fax 18 76 40
Dr. JuÈ rgen Christian MuÈ llerGoldgrubenstr. 8D-60439 Frankfurt/M.Tel. 0 69-95 81 01-58, Fax -68e-mail: [email protected]: www.JCMueller.de
Vakuumpumpen, TrockenlaÈ ufer-/dry pumps
Pfeiffer Vacuum GmbHBerliner Str. 4335614 AsslarTel. 0 64 41/802-0, Fax [email protected]://www.pfeiffer-vacuum.de
Vakuumpumpen,Turbomolekular-/turbomolecular- vacuum pumps
Alcatel Hochvakuumtechnik GmbHAm Kreuzeck 10D-97877 WertheimTel. 0 93 42/96 10-0, Fax -96 10 30e-mail: [email protected]://www.alcatel.com/cable/hvt
EBARA Germany GmbHDonaustr. 7D-63452 HanauTel. 0 61 81/18 76 20, Fax 18 76 40
ILMVAC GmbHAm Vogelherd 20D-98693 IlmenauTel. 0 36 77/6 04-0, Fax -60 41 10http://www.ilmvac.dehttp://www.ilmvac.com
Pfeiffer Vacuum GmbHBerliner Str. 4335614 AsslarTel. 0 64 41/802-0, Fax [email protected]://www.pfeiffer-vacuum.de
Vakuumpumpen-Service/vacuum pumps-consulting
Leybold Systems � Service GmbHZur Wetterwarte 50/Haus 30101109 DresdenTel. (03 51) 8 85 50-0, Fax 8 85 50-41http://www.leybold-dresden.de
VACOM GmbHBraÈ ndstroÈ mstr. 14, 07749 JenaTel. 03641/4275-0, Fax -4275-24www.vacom.de, [email protected]
VINCO Engineering GmbHMoosfeldstr. 9D-82275 EmmeringTel. 0 81 41-5 95 84, Fax -5 95 85e-mail: [email protected]://www.vinco.de
Vakuumpumpen-ZubehoÈ r/accessories for vacuum pumps
ILMVAC GmbHAm Vogelherd 20D-98693 IlmenauTel. 0 36 77/6 04-0, Fax -60 41 10http://www.ilmvac.dehttp://www.ilmvac.com
VakuumpumpstaÈ nde/vacuum pump sets
ILMVAC GmbHAm Vogelherd 20D-98693 IlmenauTel. 0 36 77/6 04-0, Fax -60 41 10http://www.ilmvac.dehttp://www.ilmvac.com
SGI-Prozeûtechnik GmbHHelmershaÈ user Straûe 34D-63674 AltenstadtTel. 0 60 47/60 92, Fax 72 50http://www.sgi-prozesstechnik.dee-mail: [email protected]
Vakuum-Schieber und Ventile/gate valves and valves
Hositrad/DeutschlandLindnergasse 2D-93047 RegensburgTel. 09 41-5 58 27, Fax 09 41-56 22 96e-mail: [email protected]: www.hositrad.nl
ILMVAC GmbHAm Vogelherd 20D-98693 IlmenauTel. 0 36 77/6 04-0, Fax -60 41 10http://www.ilmvac.dehttp://www.ilmvac.com
JAKOB Vakuumtechnik GmbHDieselstr. 8D-63839 KleinwallstadtTel. 0 60 22/22 08-0, Fax -22 08 [email protected]
JUST VakuumtechnikDaimlerstr. 1766849 LandstuhlTel. 06371/9276-00, Fax. 9276-19http://www.justvakuum.de
novotek GmbHStettiner Str. 22D-71032 BoÈ blingenTel. 0 70 31/27 20 10, Fax -27 20 [email protected]://www.novotek-vakuum.de
Pfeiffer Vacuum GmbHBerliner Str. 4335614 AsslarTel. 0 64 41/802-0, Fax [email protected]://www.pfeiffer-vacuum.de
VACOM GmbHBraÈ ndstroÈ mstr. 14, 07749 JenaTel. 03641/4275-0, Fax -4275-24www.vacom.de, [email protected]
VATVakuum-Apparate-TechnikDeutschland GmbHBretonischer Ring 785630 Grasbrunn-NeukeferlohTel. (0 89) 46 50 15, Fax -46 37 [email protected]://www.vatvalve.com
Vakuumtechnik,Sonderanfertigungen/special vacuum plants
Alcatel Hochvakuumtechnik GmbHAm Kreuzeck 10D-97877 WertheimTel. 0 93 42/96 10-0, Fax -96 10 30e-mail: [email protected]://www.alcatel.com/cable/hvt
VON ARDENNEANLAGENTECHNIK GMBHPlattleite 19/29, 01324 DresdenTel. (03 51) 26 37-3 00, Fax 26 37-3 [email protected]://www.ardenne-at.de
FHR-Anlagenbau GmbHAm HuÈ gel 201458 Ottendorf-OkrillaTel. (03 52 05) 52 00, Fax -5 20 40http://www.fhr-ab.de
FMBFeinwerk- und Meûtechnik GmbHFriedrich-WoÈ hler-Str. 2, 12489 BerlinTel./Fax: 0 30/677730-0/[email protected]
Hositrad/DeutschlandLindnergasse 2D-93047 RegensburgTel. 09 41-5 58 27, Fax 09 41-56 22 96e-mail: [email protected]: www.hositrad.nl
ILMVAC GmbHAm Vogelherd 20D-98693 IlmenauTel. 0 36 77/6 04-0, Fax -60 41 10http://www.ilmvac.dehttp://www.ilmvac.com
JUST VakuumtechnikDaimlerstr. 1766849 LandstuhlTel. 06371/9276-00, Fax. 9276-19http://www.justvakuum.de
KINKELE GmbH & Co. KGMaschinen-, Apparate-, Stahlbau,Kammern, BehaÈ lter, Rezipienten,Schweiûkonstruktionen mit mechani-scher Bearbeitung und Montage bisuÈ ber 50 t StuÈ ckgewicht97199 Ochsenfurt, GewerbegebietHohestadtTel. 09331/909-0, Fax 909-10e-mail [email protected]://www.kinkele.de
LEDA-MASS in DeutschlandDipl. Phys. Ulrich MiûeGasanalyse-SystemeDeichselbach 62D-58285 GevelsbergTel. (0 23 32) 95 81-0, Fax 95 81 [email protected]
MAT GmbH DresdenReisstr. 3, 01257 DresdenTel. (03 51) 20 77 20, Fax -2 07 72 22e-mail: [email protected]://www.mat-dresden.de
Romabau AGFohlenweide, Postfach 167CH-8570 WeinfeldenTel. 00 41/71/6 26 95 95Fax 00 41/71/6 22 21 [email protected] Apparate u. Maschinen
SGI-Prozeûtechnik GmbHHelmershaÈ user Straûe 34D-63674 AltenstadtTel. 0 60 47/60 92, Fax 72 50http://www.sgi-prozesstechnik.dee-mail: [email protected]
STREICHER Maschinenbau GmbHJosef-Wallner-Str. 1094469 DeggendorfTel. 09 91/31 09-0, Fax -31 09-20
Trinos Vakuum-Systeme GmbHBertha-von-Suttner-Str. 537085 GoÈ ttingenTel. 05 51-3 70 00 20, Fax 3 70 00 23http://www.Trinos.dee-mail: [email protected]
VACOM GmbHBraÈ ndstroÈ mstr. 14, 07749 JenaTel. 03641/4275-0, Fax -4275-24www.vacom.de, [email protected]
390 Vakuum in Forschung und Praxis (2001) Nr. 6
VTD VakuumtechnikDresden GmbHBismarckstr. 66, 01257 DresdenTel. 03 51/28 05-0, Fax -2 80 52 [email protected]://www.vtd.de
WISSEL GmbHHaagstr. 4363776 MoÈ mbris-HohlTel. 06029/4003, Fax -4189e-mail: [email protected]://www.wissel-qim.de
Verdampfer- + Misch-System fuÈ rGase und FluÈ ssigkeiten/Controlled evaporator-mixer
Wagner Mess- und Regeltechnik GmbHPirazzistr. 18, 63067 OffenbachTel. 0 69/8 29 77 60, Fax 82 97 76 [email protected]://www.wagner-msr.deVerdampferquellen/evaporation sources
VTD VakuumtechnikDresden GmbHBismarckstr. 66, 01257 DresdenTel. 03 51/28 05-0, Fax -2 80 52 [email protected]://www.vtd.de
VTS CreaTec GmbHIndustriestr. 974391 ErligheimTel. 07143-8705-15, Fax -16e-mail: [email protected]://www.createc.de
WerkstoffpruÈ fung/materialtesting
CSMA Limited, Oberfl.- undMaterialanalysenArmstrong House, Oxford RoadManchester M1 7ED, UKTel. �44(0)161 237-5811, Fax -1008http://www.csma.ltd.uk
nanoAnalytics GmbHMendelstr. 11 48149 MuÈ nsterTel.: 02 51/9 80 12 41Fax: 02 51/9 80 12 [email protected]
Vakuum in Forschung und Praxis (2001) Nr. 6 U3
¹Vakuum in der Forschung und Praxisª erscheint zweimonatlich mit sechs Ausgaben pro Jahr.Erscheinungstermine sind die geraden Monate. Annahmeschluss fuÈ r das naÈ chste Heft 1/2002ist am 14. 01. 2002. Der Grundeintrag umfasst bis zu vier Zeilen und kostet d 45,±/DM 88,01pro Stichwort und Ausgabe. Jede weitere Zeile kostet d 5,70/DM 11,15. Die gesetzliche Mehrwert-steuer wird jeweils hinzugerechnet.
INSERENTENALMA driving elements, Schollbrunn Beilage
ASF THOMAS Industries, Puchheim 339
Ferrotec, NuÈ rtingen 337
FHR, Ottendorf-Okrilla 373
FRIATEC, Mannheim 354
GEA Jet Pumps, Ettlingen 345
Goodfellow, Bad Nauheim 365
IBB-Automation, Reichelsheim 383
ILMVAC GmbH, Ilmenau 358
INFICON, Balzers, FL U2
Just Vakuumtechnik, Landstuhl 354
KINKELE, Ochsenfurt 346
KluÈ ber Lubrication, MuÈ nchen 377
LEDA-MASS, Gevelsberg 381
LEDERLE, Gundelfingen 376
Leybold Vakuum, KoÈ ln U4
MAT, Dresden 373
Pfeiffer Vacuum, Aûlar 373
Werner Rietschle, Schopfheim 381
Romabau, Weinfelden, CH 341
Schaefer Technologie, Langen 375
Trinos, GoÈ ttingen 382
UMEX, Erfurt 382
VACOM, Jena 382
Varian, Darmstadt 359
VAT, Grasbrunn 379
Wiley-VCH, Weinheim 366
ã WILEY-VCH Verlag GmbH, D-69469 Weinheim, 1998.Printed in the Federal Republic of Germany.Satz: Mitterweger & Partner Kommunikationsgesell-schaft mbH, D-68723 Plankstadt. Druck: Rheinhessi-sche DruckwerkstaÈ tte, D-55232 Alzey. Gedruckt aufsaÈ urefreiem Papier.WILEY-VCH Verlag GmbH, Pappelallee 3, D-69469Weinheim, Telefon (0 62 01) 6 06-0, Telefax (0 62 01)60 63 28.Anzeigenleitung: Klaus BloÈ mke,Telefon (0 62 01) 6 06-5 53, Telefax (0 62 01) 60 65 50,e-mail: [email protected] u. Abo-Service: e-mail: subservice @wiley-vch.de
Alle Rechte, insbesondere die der UÈ bersetzung in frem-de Sprachen, vorbehalten. Kein Teil dieser Zeitschriftdarf ohne schriftliche Genehmigung des Verlages inirgendeiner Form ± durch Photokopie, Mikrofilm oderirgendein anderes Verfahren ± reproduziert oder ineine von Maschinen, insbesondere von Datenverarbei-tungsmaschinen verwendbare Sprache uÈ bertragenoder uÈ bersetzt werden.All rights reserved (including those of translation intoforeign languages).Die Wiedergabe von Gebrauchsnamen, Warenbezeich-nungen und dgl. in dieser Zeitschrift berechtigt nicht zuder Annahme, daû solche Namen ohne weiteres vonjedermann benutzt werden duÈ rfen. Vielmehr handeltes sich haÈ ufig um gesetzlich geschuÈ tzte, eingetrageneWarenzeichen, auch wenn sie nicht eigens als solchegekennzeichnet sind.
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