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Korrelative Mikroskopie: Messbare Effizienzsteigerung in der Materialanalyse

Forum analytica

München, 18.04.012

Johannes KaindlSales Manager Materialmikroskopie

2Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

Agenda

18.04.2012

1

2 Umsetzung

Technischer Hintergrund

3Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

Agenda

18.04.2012

1

2 Umsetzung

Technischer Hintergrund

Korrelative MikroskopieHintergrund

Wunsch Stufenloses „Eintauchen“

Wirklichkeit Auflösungsgrenze in der

Lichtmikroskopie Höhere Auflösung:

Rasterelektronenmikroskope Andere Technologie, andere

Gerätetechnik

Folge Systemwechsel nötig

Orientierung auf der Probe geht verloren

Zeitaufwändiges Suchen der interessierenden Bereiche

18.04.2012 4Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

nm

µm

5Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

Korrelative MikroskopieHintergrund

Lichtmikroskop Helligkeitskontrast Unterscheidung unterschiedlicher Bereiche

bzw. Objekte nur über Helligkeit und Farbe

Rasterelektronenmikroskop Materialkontrast „Chemie“

Vollständige Informationen nur über Kombination der Verfahren

18.04.2012

Problem: Relokalisierung

Schnelle Lokalisierung unter dem Lichtmikroskop

Direkter Blick auf die Probe Livebild

Schwierig: Wiederfinden einer Stelle im Rasterelektronenmikroskop

Vergleichsweise langsamer Bildaufbau

Höhere Auflösung Kein direkter Blick auf die Probe Unterschiedliche Darstellung

(optischer versuch Materialkontrast)

18.04.2012 6Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

LM EM(X,Y)1,2…n

7Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

Agenda

18.04.2012

1

2 Umsetzung

Technischer Hintergrund

8Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

Die Lösung: Shuttle & Find

18.04.2012

Hardware Spezifischer Probenhalter Markierungen zur Kalibrierung des

Koordinatensystems Adapter für Lichtmikroskop und REM Auch individuelle Adapter möglich

Software Imaging-Software „AxioVision“ Modul „Shuttle & Find“ Speichern und wieder anfahren

beliebig vieler Probenpositionen Gleiche Software für

Lichtmikroskop und REM Überlagern der Einzelbilder

zu einem Gesamtbild Überblendfunktion

Probenhalter

Adapter LiMi Adapter REM

Korrelative MikroskopieNeue Einblicke

Lichtmikroskop Helligkeitskontrast Unterscheidung unterschiedlicher Bereiche bzw. Objekte

nur über Helligkeit und Farbe

18.04.2012 9Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD

Vollständige Informationen nur über Kombination der Verfahren

Rasterelektronenmikroskop Materialkontrast Unterscheidung durch Auswertung unterschiedlicher

Signale bei „Beschuss“ mit Elektronenstrahl

10Carl Zeiss MicroImaging GmbH, Johannes Kaindl, MI-VD 15.09.2011